[发明专利]硅片单面制绒与边缘刻蚀用添加剂及其应用在审
| 申请号： | 201910511489.1 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110257072A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 邓雨微;王思云;马洁;张益荣 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅片单面制绒与边缘刻蚀用添加剂，其各组分的质量百分含量为：4%～7%脂肪醇聚氧乙烯醚，3%～5%甜菜碱，3%～5%马来酸‑丙烯酸共聚物，2%～5%吐温20，1%～2%β‑环糊精，余量为去离子水。本发明还提供上述添加剂的应用。在碱溶液中添加本发明的添加剂，可对单面覆有掩膜的硅片进行单面制绒，且可在单面制绒的过程中实现边缘刻蚀，使硅片边缘绝缘。 | ||
| 搜索关键词： | 单面制绒 添加剂 硅片 刻蚀 脂肪醇聚氧乙烯醚 丙烯酸共聚物 硅片边缘 去离子水 环糊精 碱溶液 马来酸 甜菜碱 吐温 掩膜 绝缘 应用 | ||
【主权项】：
1.硅片单面制绒与边缘刻蚀用添加剂，其特征在于，其各组分的质量百分含量为：脂肪醇聚氧乙烯醚 4%～7%，甜菜碱 3%～5%，马来酸‑丙烯酸共聚物 3%～5%，吐温20 2%～5%，β‑环糊精 1%～2%，余量为去离子水。
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