[发明专利]存储器单元及其形成方法在审

专利信息
申请号: 201910510900.3 申请日: 2019-06-13
公开(公告)号: CN112086556A 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 林大钧;蔡滨祥;洪雅娟;杨晋嘉;简廷安 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00;H01L27/24
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开一种存储器单元及其形成方法,其中该存储器单元包含一第一导电线、一底电极、一纳米碳管层、一中间电极、一电阻层、一顶电极以及一第二导电线。第一导电线设置于一基底上。底电极设置于第一导电线上。纳米碳管层设置于底电极上。中间电极设置于纳米碳管层上,因而底电极、纳米碳管层以及中间电极构成一纳米管存储器部分。电阻层设置于中间电极上。顶电极设置于电阻层上,因而中间电极、电阻层以及顶电极构成一电阻存储器部分。第二导电线设置于顶电极上。
搜索关键词: 存储器 单元 及其 形成 方法
【主权项】:
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