[发明专利]真空获取装置、包括其的真空装置、以及抽真空方法有效
| 申请号： | 201910509556.6 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110230588B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 郑琦;林晓;李彦;高鸿钧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B37/08;F04B39/12 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临;冯玉清 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空获取装置、包括其的真空装置、以及抽真空方法。根据一实施例，一种真空获取装置可包括：法兰，用于安装到真空装置上；以及金属管，具有入口端和出口端，所述金属管的入口端和出口端穿过所述法兰上的通孔暴露于外界，在所述通孔中所述金属管密封焊接到所述法兰，所述金属管的入口端和出口端之间的中间部分在所述真空装置的真空腔内延伸。在抽真空时，通过向金属管内通入低温流体例如液氮，能够利用低温吸附原理快速获得超高真空，从而大大提高了抽真空效率。本发明的装置和方法可应用于各种超高真空系统，包括但不限于扫描探针显微镜系统、分子束外延系统等。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 获取 装置 包括 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空获取装置，包括：法兰，用于安装到真空装置上；以及金属管，具有入口端和出口端，所述金属管的入口端和出口端穿过所述法兰上的通孔暴露于外界，在所述通孔中所述金属管密封焊接到所述法兰，所述金属管的入口端和出口端之间的中间部分在所述真空装置的真空腔内延伸。
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