[发明专利]真空获取装置、包括其的真空装置、以及抽真空方法

权利要求书

1.一种真空装置，包括：

腔体，其定义一真空腔；以及

真空获取装置，包括：

法兰，用于安装到所述腔体上；以及

金属管，具有入口端和出口端，所述金属管的入口端和出口端穿过所述法兰上的通孔暴露于外界，在所述通孔中所述金属管密封焊接到所述法兰，使得所述金属管的入口端和出口端之间的中间部分在所述真空装置的真空腔内延伸；

第一抽气装置，用于对所述真空腔进行抽真空；

低温流体源，连接到所述金属管的入口端；以及

第二抽气装置，用于对所述金属管的出口端进行抽吸，以使所述低温流体流过所述金属管，

其中，所述真空腔利用所述第一抽气装置抽至第一真空度，并且当向所述金属管内通入低温流体时，所述金属管的温度降低，从而使所述真空腔达到第二真空度。

2.如权利要求1所述的真空装置，其中，所述法兰是双面法兰，其具有位于中央的开口，所述通孔在所述双面法兰的两个表面之间沿径向穿过所述双面法兰。

3.如权利要求1所述的真空装置，其中，所述法兰是盲板法兰，所述通孔垂直延伸穿过所述盲板法兰。

4.如权利要求1所述的真空装置，其中，所述金属管的中间部分弯曲延伸成螺旋管状。

5.如权利要求1所述的真空装置，其中，所述法兰和所述金属管由不锈钢制成。

6.一种利用权利要求1-5中的任一项所述的真空装置进行的抽真空方法，包括：

利用所述第一抽气装置将所述真空装置的真空腔抽至第一真空度；以及

利用所述第二抽气装置在所述金属管的出口端进行抽吸，以使所述低温流体源中的低温流体流过所述金属管，降低所述金属管的温度，从而使所述真空腔达到第二真空度。

7.如权利要求6所述的方法，其中，所述低温流体是液氮。