[发明专利]一种绝缘材料窗及其制造方法以及电感耦合等离子体处理装置在审
| 申请号： | 201910499413.1 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN112071734A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 左涛涛;庞晓贝 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J9/00 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张妍 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种用于电感耦合等离子体处理装置的绝缘材料窗部件，包括：绝缘材料窗、电感耦合线圈和加热器层，所述电感耦合线圈的底面贴合在所述绝缘材料窗的上表面，所述加热器层设置在所述电感耦合线圈上方，其中，所述电感耦合线圈与所述加热器层之间包括一绝缘层。该绝缘材料窗部件使得电感耦合线圈的射频耦合不会受到加热器层的影响，使得等离子分布保持均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绝缘材料 及其 制造 方法 以及 电感 耦合 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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