[发明专利]一种绝缘材料窗及其制造方法以及电感耦合等离子体处理装置

权利要求书

1.一种用于电感耦合等离子体处理装置的绝缘材料窗部件，包括：

绝缘材料窗；

电感耦合线圈，所述电感耦合线圈的底面贴合在所述绝缘材料窗的上表面；

加热器层，所述加热器层设置在所述电感耦合线圈上方；

其中，所述电感耦合线圈与所述加热器层之间包括一绝缘层。

2.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述电感耦合线圈通过涂敷方式直接形成在所述绝缘材料窗的上表面，所述涂敷方式包括等离子溅射涂敷。

3.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述电感耦合线圈通过沉积方式直接形成在所述绝缘材料窗的上表面，所述沉积方式包括物理气相沉积或化学气相沉积。

4.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述电感耦合线圈通过印刷方式直接形成在所述绝缘材料窗的上表面，所述印刷方式包括丝网印刷或3D印刷。

5.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述绝缘层覆盖所述电感耦合线圈和电感耦合线圈之间的间隙。

6.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述绝缘层与所述电感耦合线圈之间存在间隙。

7.根据权利要求5所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述绝缘层的厚度大于0.5mm。

8.根据权利要求5所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述绝缘层为氧化铝或氮化铝。

9.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述电感耦合线圈为铜或钨。

10.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述电感耦合线圈是平面结构。

11.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述电感耦合线圈是包括多层线圈的立体结构。

12.根据权利要求11所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述电感耦合线圈包括三层结构，其中，底部线圈位于底部层，中间层是绝缘层，第一线圈和第二线圈位于顶部层；

第一线圈的第一端连接到射频电源，第一线圈的第二端通过第一连接部连接到底部线圈的第一端，底部线圈的第二端通过第二连接部连接到第二线圈的第一端，第二线圈的第二端连接到接地端，第一连接部和第二连接部分别穿过绝缘层；

第一线圈和第二线圈之间在径向上存在间隙，并且第一线圈和第二线圈在底部层上的投影处于底部线圈内。

13.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述加热器层是单层的加热丝，所述加热丝包括第一加热丝和第二加热丝，所述第一加热丝和所述第二加热丝平行地布置在绝缘材料窗的径向和周向上，并且通过第一加热丝中的电流的方向与通过第二加热丝中的电流的方向相反。

14.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述加热器层包括两个绝缘子层以及设置在两个绝缘子层之间的加热丝。

15.根据权利要求1所述的绝缘材料窗部件，其特征在于，所述电感耦合线圈通过涂敷、沉积或印刷方式直接形成在所述绝缘材料窗的上表面，且所述绝缘材料窗、所述电感耦合线圈、所述绝缘层和所述加热器层形成一片式结构。

16.一种电感耦合等离子体处理装置，包括：

气密的反应腔，所述反应腔包括反应腔侧壁和位于顶部的根据权利要求1-15中任一项所述的绝缘材料窗部件，以及

基座，位于所述反应腔内，且用于支撑待处理的基片。