[发明专利]一种局域掺杂的太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种局域掺杂的太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：1)掺杂浆料预置与烘干：在将要开膜的位置预置掺杂浆料，掺杂浆料与硅基层接触，并进行烘干；2)硅基层背面沉积介质钝化膜层；3)激光消融，利用激光对硅基层背面金属化区域的介质钝化膜层进行消融，位置与步骤1)中预置掺杂浆料位置相同；4)金属化：通过金属化工艺实现金属电极的制备；本发明提出了一种局域掺杂的太阳能电池及其制备方法，在背面介质钝化膜层沉积前，背面金属化区域预置掺杂浆料，对介质钝化膜层进行激光消融时，利用激光的能量将预置掺杂浆料推进进入到硅基层内，实现了金属化区域重掺杂与深度，并降低硅基层背面金属化区域的复合电流，实现了规模化量产。

主权项

1.一种局域掺杂的太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)掺杂浆料预置与烘干：在将要开膜的位置预置掺杂浆料，掺杂浆料与硅基层接触，并进行烘干；2)硅基层背面沉积介质钝化膜层；3)激光消融，利用激光对硅基层背面金属化区域的介质钝化膜层进行消融，位置与步骤1)中预置掺杂浆料位置相同；4)金属化，通过金属化工艺实现金属电极的制备。