[发明专利]一种局域掺杂的太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种局域掺杂的太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)掺杂浆料预置与烘干：在将要开膜的位置预置掺杂浆料，掺杂浆料与硅基层接触，并进行烘干；

2)硅基层背面沉积介质钝化膜层；

3)激光消融，利用激光对硅基层背面金属化区域的介质钝化膜层进行消融，位置与步骤1)中预置掺杂浆料位置相同；

4)金属化，通过金属化工艺实现金属电极的制备。

2.根据权利要求1所述的局域掺杂的太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤1)中在将要开膜的位置通过印刷、激光转印或喷涂中的任一种方法预置掺杂浆料。

3.根据权利要求1所述的局域掺杂的太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤1)中预置掺杂浆料的厚度为1-6μm，宽度为30-130μm。

4.根据权利要求1所述的局域掺杂的太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤1)中掺杂浆料含有硼、铝、镓、铟、铊p型掺杂剂或含有磷、砷、碲、铋n型掺杂剂中的任一种。

5.根据权利要求1所述的局域掺杂的太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤2)通过等离子体增强化学汽相沉积、原子层沉积、热氧化沉积方法中的任一种，在硅基层背面沉积介质钝化膜层。

6.根据权利要求1所述的局域掺杂的太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤2)介质钝化膜层为氧化硅钝化膜、氧化铝钝化膜、氮化硅钝化膜、碳化硅钝化膜或氮氧化硅钝化膜中的一种或几种。

7.根据权利要求1所述的局域掺杂的太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤3)中的激光消融图形化区域面积≤步骤1)中掺杂浆料图形化区域面积。

8.根据权利要求1所述的局域掺杂的太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤4)可通过丝印烧结、物理气相沉积、化学蒸汽沉积、电镀中的任一种方法通过金属化工艺完成金属电极制备。

9.一种局域掺杂的太阳能电池，其特征在于，包括：硅基层，所述硅基层正面设有正面钝化减反层，所述硅基层与所述正面钝化减反层连接，所述硅基层背面设有介质钝化膜层，所述硅基层与所述介质钝化膜层连接。

10.根据权利要求9所述的局域掺杂的太阳能电池，其特征在于，包括：正面电极和背面电极，所述正面电极与所述硅基层连接，所述硅基层背面上设有局部重掺杂区域，所述局部重掺杂区域与所述背面电极连接。