[发明专利]一种微型宽谱高灵敏石墨烯光纤光电探测芯片有效
| 申请号： | 201910489907.1 | 申请日： | 2019-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN110376687B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 朱文国;余健辉;陈哲;卓琳青;林艳梅;郑华丹;李志斌 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;H01L31/08 |
| 代理公司： | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 林伟斌;凌衍芬 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型宽谱高灵敏石墨烯光纤光电探测芯片，包括侧抛磨光纤、微带电极、石墨烯薄膜、PB薄膜、PMMA薄膜；所述侧抛磨光纤包括纤芯和包层，所述包层和纤芯经部分抛磨处理成抛磨区；所述侧抛磨光纤的抛磨区朝上且在纤芯两侧设有微带电极，所述微带电极覆盖至非抛磨区；所述微带电极的上表面从上至下依次覆盖有PMMA薄膜、PB薄膜、石墨烯薄膜；本发明芯片具有响应速度快、探测效率高、稳定性高的特点以及极佳的光电探测性能；采用全光纤结构，与光纤通信系统完美兼容，解决生产中兼容等问题；本芯片直接在光纤上制作，制作过程简单，利于大量生产，也解决了光纤和波导结构的耦合难题，降低插入损耗，提高了器件的集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 宽谱高 灵敏 石墨 光纤 光电 探测 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种微型宽谱高灵敏石墨烯光纤光电探测芯片，其特征在于，包括侧抛磨光纤、微带电极、石墨烯薄膜、PB薄膜、PMMA薄膜；所述侧抛磨光纤包括纤芯和包层，所述包层和纤芯经部分抛磨处理成抛磨区；所述侧抛磨光纤的抛磨区朝上且在纤芯两侧设有微带电极，所述微带电极覆盖至非抛磨区；所述微带电极的上表面从上至下依次覆盖有PMMA薄膜、PB薄膜、石墨烯薄膜。
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