[发明专利]阵列基板及其制备方法、显示面板、显示装置

摘要

本发明公开了阵列基板及其制备方法、显示面板、显示装置。具体的，本发明提出了一种制作阵列基板的方法，包括：提供衬底，所述衬底上具有驱动晶体管区域以及开关晶体管区域；形成有源层，所述有源层形成在所述衬底的一侧，所述有源层包括层叠设置的至少两个亚层；将所述有源层图案化，以形成驱动有源层以及开关有源层，其中，所述驱动有源层在所述衬底上的正投影位于所述驱动晶体管区域中，所述开关有源层在所述衬底上的正投影位于所述开关晶体管区域中，并且，所述驱动有源层中的载流子浓度，小于所述开关有源层中的载流子浓度。由此，该阵列基板的阈值电压的均匀性较好，可提高使用该阵列基板的显示面板的显示质量。

主权项

1.一种制作阵列基板的方法，其特征在于，包括：提供衬底，所述衬底上具有驱动晶体管区域以及开关晶体管区域；形成有源层，所述有源层形成在所述衬底的一侧，所述有源层包括层叠设置的至少两个亚层；将所述有源层图案化，以形成驱动有源层以及开关有源层，其中，所述驱动有源层在所述衬底上的正投影位于所述驱动晶体管区域中，所述开关有源层在所述衬底上的正投影位于所述开关晶体管区域中，并且，所述驱动有源层中的载流子浓度，小于所述开关有源层中的载流子浓度。