[发明专利]一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂及应用在审
| 申请号： | 201910472041.3 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110067028A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李佳艳;蔡敏;谭毅;武晓玮 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12;C30B29/06;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 唐楠;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂及应用，所述添加剂的组分包括第一添加剂、第二添加剂、第三添加剂、第四添加剂中的一种或多种组合；第一添加剂为聚乙二醇溶液(质量分数为0.5～5％)、聚乙烯醇溶液(质量分数为0.5～5％)和十二烷基苯磺酸溶液(质量分数为0.5～5％)的混合溶液；第二添加剂为亚硝酸钠溶液(质量分数为5～10％)；第三添加剂为磷酸溶液(体积分数为5～10％)；第四添加剂为冰乙酸溶液(体积分数为5～10％)。本发明通过向酸性腐蚀液中添加添加剂，能够控制反应速率、降低多晶硅片与腐蚀液之间的张力、增加润湿性，使腐蚀液更均匀的附着于多晶硅片表面，通过腐蚀获得形貌优良的制绒绒面，绒面腐蚀坑大小在200～500nm之间。 | ||
| 搜索关键词： | 添加剂 多晶硅片 质量分数 第一添加剂 体积分数 腐蚀液 酸制绒 线切割 十二烷基苯磺酸 聚乙二醇溶液 聚乙烯醇溶液 亚硝酸钠溶液 形貌 冰乙酸溶液 酸性腐蚀液 混合溶液 磷酸溶液 绒面腐蚀 润湿性 附着 应用 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂，其特征在于，所述添加剂的组分包括第一添加剂、第二添加剂、第三添加剂、第四添加剂中的一种或多种组合；所述第一添加剂为聚乙二醇溶液、聚乙烯醇溶液和十二烷基苯磺酸溶液的混合溶液；所述第二添加剂为亚硝酸钠溶液；所述第三添加剂为磷酸溶液；所述第四添加剂为冰乙酸溶液。
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