[发明专利]一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂及应用

权利要求书

1.一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂，其特征在于，所述添加剂的组分包括第一添加剂、第二添加剂、第三添加剂、第四添加剂中的一种或多种组合；

所述第一添加剂为聚乙二醇溶液、聚乙烯醇溶液和十二烷基苯磺酸溶液的混合溶液；

所述第二添加剂为亚硝酸钠溶液；

所述第三添加剂为磷酸溶液；

所述第四添加剂为冰乙酸溶液。

2.根据权利要求1所述的添加剂，其特征在于，所述聚乙二醇溶液、所述聚乙烯醇溶液和所述十二烷基苯磺酸溶液均用去离子水配制，且质量分数均为0.5～5％。

3.根据权利要求1所述的添加剂，其特征在于，所述亚硝酸钠溶液用去离子水配制，且质量分数为5～10％。

4.根据权利要求1所述的添加剂，其特征在于，所述磷酸溶液用去离子水配制，且体积分数为5～10％。

5.根据权利要求1所述的添加剂，其特征在于，所述冰乙酸溶液用去离子水配制，且体积分数为5～10％。

6.一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于具有如下步骤：

将多晶硅片清洗，待用；

配置酸性腐蚀液，待用；

配置权利要求1-5任一权利要求所述的添加剂，待用；

量取一定体积配置好的酸性腐蚀液，并向其内添加配置好的添加剂，并搅拌均匀，得到腐蚀液；

将待用多晶硅片侵入腐蚀液中反应，反应时间结束后迅速将多晶硅片从腐蚀液中取出，清洗，并烘干至恒重。

7.根据权利要求6所述的制绒方法，其特征在于：多晶硅片清洗的具体步骤如下：

将多晶硅片依次浸入酒精中超声清洗10～30min，浸入去离子水中超声清洗5～10min，浸入质量分数为5％的氢氟酸溶液中反应5～30min，浸入去离子水中超声清洗5～10min。

8.根据权利要求6所述的制绒方法，其特征在于，配置的酸性腐蚀液为氢氟酸溶液、硝酸溶液和去离子水的混合溶液，其中，氢氟酸溶液的体积百分含量为5～15％，硝酸溶液的体积百分含量为50～60％，其余为去离子水；

所述氢氟酸溶液的浓度为40wt.％；

所述硝酸溶液的浓度为68wt.％。

9.根据权利要求6所述的制绒方法，其特征在于，所述腐蚀液中，添加剂的各组分与酸性腐蚀液的体积比均为(1～100):1000，且在聚四氟乙烯反应槽中搅拌均匀；

将待用多晶硅片侵入腐蚀液中反应的时间为40～350s，腐蚀液温度控制在5～50℃。