[发明专利]一种可见光波段光学神经网络元件

摘要

本发明一种可见光波段光学神经网络元件属于光学元件、图像识别技术领域；该光学神经网络元件包含多个沿光轴方向依次等间距排列的子元件，子元件向垂直于光轴的平面的投影图形为正方形，所有子元件向垂直于光轴的平面的投影图形重合；每个子元件包含一个衬底结构和由衬底结构支撑的多个子结构，所述子结构在衬底表面成矩阵排列，在矩阵的行方向和列方向上，相邻两个子结构在衬底上坐标的距离为定值，所述子结构的尺寸相同，转角不同，子元件中子结构转角和相位之间具有某种确定关系；本发明可见光波段光学神经网络元件不仅衍射效率不受理论限制，而且因为加工工艺的进步，其能够工作在可见光波段；本发明还提供了一种计算子结构尺寸的方法。

主权项

1.一种可见光波段光学神经网络元件，通过单次投影曝光、原子层沉积、刻蚀工艺和切片分割而成，其特征在于，包含多个沿光轴方向依次等间距排列的子元件(1)，所述子元件(1)向垂直于光轴的平面的投影图形为正方形，所有子元件(1)向垂直于光轴的平面的投影图形重合；每个子元件(1)包含一个衬底(2)和由衬底(2)支撑的多个子结构(3)，所述子结构(3)在衬底(2)表面成矩阵排列，在矩阵的行方向和列方向上，相邻两个子结构(3)在衬底(2)上坐标的距离为定值，所述子结构(3)的尺寸相同，转角不同，在第i个子元件(1)上，子结构(3)在绕衬底(2)坐标(x,y)法线的转角θ和子结构(3)在衬底(2)坐标(x,y)处对应的相位φ_i(x,y)之间满足如下关系：其中，m为任意整数，φ_θ＝0为θ＝0时子结构(3)在衬底(2)坐标(x,y)处对应的相位。