[发明专利]超薄石英玻璃片的制备方法在审
| 申请号： | 201910468977.9 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110316970A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 杜秀蓉;张晓强;孙元成;宋学富;王慧;钟利强;杨晓会 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 刘铁生;孟阿妮 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种超薄石英玻璃片的制备方法。所述方法联合使用精密机械抛光和酸刻蚀的方法制备超薄石英玻璃片；其厚度≤100μm，厚度均匀性为‑2μm～2μm，表面粗糙度Ra≤2nm；所述方法包括以下步骤：采用精密机械抛光将石英玻璃片研磨、抛光，得第一石英玻璃片；清洗；酸刻蚀，得超薄石英玻璃片；所述的酸刻蚀采用氢氟酸，其浓度为10～20mol/L，酸刻蚀的温度为30℃～40℃，酸刻蚀的速率≤1μm/min。所述方法联合使用精密机械抛光和氢氟酸刻蚀相结合的方法加工石英玻璃片，通过对各工序的工艺参数匹配协调，避免了石英玻璃薄片制备过程中碎裂，同时提高其厚度均匀性和表面粗糙度，从而更加适于实用。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃片 酸刻蚀 抛光 精密机械 制备 厚度均匀性 氢氟酸 表面粗糙度Ra 表面粗糙度 碎裂 薄片制备 石英玻璃 研磨 刻蚀 匹配 清洗 加工 协调 | ||
【主权项】：
1.一种超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，联合使用精密机械抛光和酸刻蚀的方法制备超薄石英玻璃片；所述的超薄石英玻璃片的厚度≤100μm，厚度均匀性为‑2μm～2μm，表面粗糙度Ra≤2nm。
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