[发明专利]超薄石英玻璃片的制备方法在审
| 申请号： | 201910468977.9 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN110316970A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 杜秀蓉;张晓强;孙元成;宋学富;王慧;钟利强;杨晓会 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 刘铁生;孟阿妮 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英玻璃片 酸刻蚀 抛光 精密机械 制备 厚度均匀性 氢氟酸 表面粗糙度Ra 表面粗糙度 碎裂 薄片制备 石英玻璃 研磨 刻蚀 匹配 清洗 加工 协调 | ||
1.一种超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，
联合使用精密机械抛光和酸刻蚀的方法制备超薄石英玻璃片；
所述的超薄石英玻璃片的厚度≤100μm，厚度均匀性为-2μm～2μm，表面粗糙度Ra≤2nm。
2.根据权利要求1所述的超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：
1)采用精密机械抛光将石英玻璃片研磨、抛光，得第一石英玻璃片；
2)清洗；
3)酸刻蚀，得超薄石英玻璃片。
3.根据权利要求2所述的超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，所述的步骤1)包括以下步骤：
采用磨料双面研磨石英玻璃片至指定厚度；采用抛光粉双面抛光石英玻璃片，得第一石英玻璃片。
4.根据权利要求3所述的超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，
所述的磨料选用粒径≤10μm的Al2O3颗粒；所述的抛光粉选用粒径≤100nm的SiO2颗粒。
5.根据权利要求2所述的超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，
所述的研磨选用球墨铸铁作为研磨介质；所述的抛光选用聚氨酯作为抛光介质。
6.根据权利要求2-5任一项所述的超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，
所述的第一石英玻璃片的厚度为0.2～0.3mm，厚度均匀性为-5μm～5μm，表面粗糙度Ra≤1nm。
7.根据权利要求6所述的超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，
所述的清洗包括以下步骤：
采用氢氟酸溶液浸泡第一石英玻璃片；然后再进行超声波清洗。
8.根据权利要求7所述的超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，
所述的氢氟酸溶液的质量浓度为0.2～1％，浸泡温度为20～30℃，浸泡时间为2min～5min。
9.根据权利要求7所述的超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，
所述的超声波清洗采用的液体为去离子水，其电阻率≥18MΩ·cm，超声频率为28～45kHz。
10.根据权利要求6所述的超薄石英玻璃片的制备方法，其特征在于，
所述的酸刻蚀采用氢氟酸，其浓度为10～20mol/L；
所述的酸刻蚀的温度为30℃～40℃；
所述的酸刻蚀的速率≤1μm/min。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国建筑材料科学研究总院有限公司，未经中国建筑材料科学研究总院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910468977.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种自然降解的农用岩棉及其制备方法
- 下一篇：蚀刻混切玻璃基板的方法
