[发明专利]一种分子泵在线调试系统及调试方法在审
| 申请号： | 201910468344.8 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN112012941A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 董欣;郁晋军;刘敏强 | 申请（专利权）人： | 北京四海祥云流体科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D27/00;F04D29/66 |
| 代理公司： | 北京天驰君泰律师事务所 11592 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 101111 北京市通州*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空技术领域，特别地涉及一种分子泵在线调试系统及方法，该分子泵在线调试系统，包括：振动传感器，其经配置以检测分子泵的振动特征；控制器，其经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及去重器，其经配置以根据所述去重重量向所述分子泵的去重位置发射光束或电子。整个去重过程全部由控制器控制，可将去重质量以及去重位置精确，转子在运转中持续去重，无需反复启停人工增减配重，并且每次去重都是新做试重，每次去重均自动重新计算，确保精确。另外，转子的动平衡与研车工序可合二为一，进一步节约时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 在线 调试 系统 方法 | ||
【主权项】：
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