[发明专利]一种分子泵在线调试系统及调试方法

说明书

本发明涉及真空技术领域，特别地涉及一种分子泵在线调试系统及方法，该分子泵在线调试系统，包括：振动传感器，其经配置以检测分子泵的振动特征；控制器，其经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及去重器，其经配置以根据所述去重重量向所述分子泵的去重位置发射光束或电子。整个去重过程全部由控制器控制，可将去重质量以及去重位置精确，转子在运转中持续去重，无需反复启停人工增减配重，并且每次去重都是新做试重，每次去重均自动重新计算，确保精确。另外，转子的动平衡与研车工序可合二为一，进一步节约时间。

技术领域

本发明涉及真空技术领域，特别地涉及一种分子泵在线调试系统调试方法。

背景技术

分子泵是一种应用广泛的真空装置。分子泵包括泵体和安装在泵体内的转子。分子泵利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，然后被压缩和驱向排气口后被前级真空泵抽走。当分子泵装配完成后，由于加工或者装配的公差，转子存在一个不平衡量，因此，需要对转子进行动平衡测试，并对转子质量进行相应调配。分子泵转子的动平衡是分子泵能良好工作的关键。

在现有技术中，在转子上通常预设一些动平衡孔。在泵体上设置振动传感器和转速传感器分别检测转子的振动频率和转速，利用动平衡仪确定出真正需要的校正质量的大小和安放位置。然后采用人工配做相应质量的螺钉，并将螺钉安装在预设的动平衡孔内，实现对转子质量的调整。

但是，由于转子在高速运转过程中需要真空环境，采用上述人工修配调整螺钉的方式，需要多次才能调整好。调试过程非常繁琐，效率较低。

发明内容

针对现有技术中存在的技术问题，本发明提出了一种分子泵在线调试系统，包括：振动传感器，其经配置以检测分子泵的振动特征；控制器，其经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及去重器，其经配置以根据所述去重重量向所述分子泵的去重位置发射光束或电子。

如上所述的系统，其中所述分子泵的振动特征包括振动频率、振动方向、振动幅度等中的一者或多者。

如上所述的系统，其中所述去重器是可移动的。

如上所述的系统，其中所述控制器经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取所述分子泵的去重位置和去重质量。

如上所述的系统，进一步包括转速传感器，其与所述控制器相连。

如上所述的系统，其中所述去重器为激光器或电子枪。

如上所述的系统，其中所述控制器包括：

分析模块，其经配置以根据所述振动特征以及所述转速计算所述去重位置的去重质量；以及

控制模块，其经配置以控制所述去重器向所述去重位置发射光束或电子的能量和时间。

如上所述的系统，其中所述控制模块经配置以控制所述去重器向所述去重位置多次发射光束或电子。

如上所述的系统，其中所述分析模块经配置以在所述去重器向所述去重位置发射光束或电子后重新计算去重质量。

如上所述的系统，包括两个振动传感器，所述两个振动传感器分别用于位于所述转子的两端。

如上所述的系统，进一步包括真空腔室，所述去重器位于所述真空腔室内。

如上所述的系统，进一步地，所述去重器设置于所述转子的上方。

本发明提出了一种分子泵在线调试方法，包括检测分子泵的振动特征；根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及根据所述去重重量向所述分子泵的去重位置发射光束或电子。

如上所述的方法，进一步包括：根据所述振动特征以及所述转速计算所述去重位置的去重质量。