[发明专利]一种偏振红外线探测器结构有效
| 申请号： | 201910449726.6 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110207818B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;H01L31/0232;H01L31/09 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;张磊 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种偏振红外线探测器结构，包括叠设于衬底上的微桥结构和第一金属光栅结构，所述微桥结构设有微桥桥面和支撑与电连接孔，所述微桥桥面用于探测红外线，所述支撑与电连接孔用于对所述微桥桥面进行支撑，并将所述微桥桥面产生的电信号传导至所述衬底；所述第一金属光栅结构悬设于所述微桥桥面上方，其包括由平行排列的多个第一金属栅条所构成的第一金属光栅，所述第一金属光栅通过第一金属支撑柱与下方的所述支撑与电连接孔电连接。本发明可选择性地将一定方向的偏振光透射到红外探测器的微桥桥面上，从而可辅助实现图形识别等功能，其性能更佳、成本更低、使用更加灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 红外线 探测器 结构 | ||
【主权项】：
1.一种偏振红外线探测器结构，其特征在于，包括叠设于衬底上的微桥结构和第一金属光栅结构，所述微桥结构设有微桥桥面和支撑与电连接孔，所述微桥桥面用于探测红外线，所述支撑与电连接孔用于对所述微桥桥面进行支撑，并将所述微桥桥面产生的电信号传导至所述衬底；所述第一金属光栅结构悬设于所述微桥桥面上方，其包括由平行排列的多个第一金属栅条所构成的第一金属光栅，所述第一金属光栅通过第一金属支撑柱与下方的所述支撑与电连接孔电连接。
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