[发明专利]一种偏振红外线探测器结构

说明书

本发明公开了一种偏振红外线探测器结构，包括叠设于衬底上的微桥结构和第一金属光栅结构，所述微桥结构设有微桥桥面和支撑与电连接孔，所述微桥桥面用于探测红外线，所述支撑与电连接孔用于对所述微桥桥面进行支撑，并将所述微桥桥面产生的电信号传导至所述衬底；所述第一金属光栅结构悬设于所述微桥桥面上方，其包括由平行排列的多个第一金属栅条所构成的第一金属光栅，所述第一金属光栅通过第一金属支撑柱与下方的所述支撑与电连接孔电连接。本发明可选择性地将一定方向的偏振光透射到红外探测器的微桥桥面上，从而可辅助实现图形识别等功能，其性能更佳、成本更低、使用更加灵活。

技术领域

本发明涉及红外线探测器技术领域，更具体地，涉及一种偏振红外线探测器结构。

背景技术

偏振光可以辅助进行图像的识别，而传统红外线探测器多是利用对入射镜头的处理，无法区别探测偏振方向不同的红外线。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种偏振红外线探测器结构。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种偏振红外线探测器结构，包括叠设于衬底上的微桥结构和第一金属光栅结构，所述微桥结构设有微桥桥面和支撑与电连接孔，所述微桥桥面用于探测红外线，所述支撑与电连接孔用于对所述微桥桥面进行支撑，并将所述微桥桥面产生的电信号传导至所述衬底；所述第一金属光栅结构悬设于所述微桥桥面上方，其包括由平行排列的多个第一金属栅条所构成的第一金属光栅，所述第一金属光栅通过第一金属支撑柱与下方的所述支撑与电连接孔电连接。

进一步地，所述第一金属光栅为设于透明介质层上的单层结构，所述透明介质层架设在所述支撑与电连接孔上。

进一步地，所述第一金属光栅为设于透明介质层上下两侧的双层结构，位于所述双层结构上下层中的第一金属栅条一一对应排列，所述透明介质层架设在所述支撑与电连接孔上。

进一步地，所述第一金属支撑柱与所述支撑与电连接孔中设有的金属电极层相连。

进一步地，各所述第一金属栅条的一端通过第一边缘金属条相连在一起，所述第一边缘金属条连接第一金属支撑柱。

进一步地，还包括第二金属光栅结构，所述第二金属光栅结构悬设于所述第一金属光栅结构上方，其包括由平行排列的多个第二金属栅条所构成的第二金属光栅，所述第二金属光栅通过第二金属支撑柱与下方所述微桥结构以外区域的所述衬底连接，所述第二金属栅条与所述第一金属栅条在初始状态时一一对应排列，所述第二金属支撑柱的外侧设有吸引电极；其中，通过所述吸引电极对所述第二金属支撑柱产生静电效应，使所述第二金属光栅与所述第一金属光栅之间形成相对移动，以形成具有多种变化的第三金属栅条线宽的第三金属光栅。

进一步地，还包括第二金属光栅结构，所述第二金属光栅结构悬设于所述第一金属光栅结构上方，其包括由平行排列的多个第二金属栅条所构成的第二金属光栅，所述第二金属光栅通过第二金属支撑柱与下方所述微桥结构以外区域的所述衬底连接，所述第二金属栅条与所述第一金属栅条在初始状态时一一对应排列，所述第二金属支撑柱的外侧设有吸引电极；其中，通过所述吸引电极对所述第二金属支撑柱产生静电效应，使所述第二金属光栅与所述第一金属光栅之间形成相对移动，并通过所述第一金属光栅与所述第二金属光栅之间产生静电效应，使所述第二金属光栅向下移动与所述第一金属光栅相互连接，以形成具有多种变化的第三金属栅条线宽的第三金属光栅。

进一步地，所述第一金属光栅和第二金属光栅材料为Al、Pt、ZnSe或Ge。

进一步地，所述第一金属光栅和第二金属光栅的周期为小于等于500nm，所述第一金属光栅和第二金属光栅的线宽/间隙比例为小于0.5

进一步地，所述透明介质层材料为SiO₂或Ge。

进一步地，所述透明介质层厚度为小于