[发明专利]一种半导体元件清洗设备防撞装置有效
| 申请号: | 201910420543.1 | 申请日: | 2019-05-20 |
| 公开(公告)号: | CN110185888B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
| 发明(设计)人: | 凌永康;杜良辉;孙国标 | 申请(专利权)人: | 江苏晶度半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;F16M3/00;F16F15/02 |
| 代理公司: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人: | 郭智 |
| 地址: | 212000 江苏省镇江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明涉及机械技术领域,尤其为一种半导体元件清洗设备防撞装置,包括清洗设备主体,清洗设备主体的底部边缘处靠接有防护装置,防护装置由一对呈对称分布的防护机构组成,两个防护机构之间通过滑杆滑动连接,每个防护机构上均安装有护角板。该半导体元件清洗设备防撞装置,通过设置的防护装置,使防护装置对驶向清洗设备主体的推车等移动装置进行阻挡,防止推车等移动装置对清洗设备主体产生撞击,通过设置的护角板,使护角板对清洗设备主体的前端拐角处进行防护,通过使滑动套杆能相对前挡板进行滑动,使防护装置的前端与清洗设备主体之间的距离可进行调节。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 元件 清洗 设备 装置 | ||
【主权项】:
1.一种半导体元件清洗设备防撞装置,包括清洗设备主体(1),其特征在于:所述清洗设备主体(1)的底部边缘处靠接有防护装置(2),所述防护装置(2)由一对呈对称分布的防护机构(21)组成,位于右侧的所述防护机构(21)的左端安装有若干个滑杆(22),所述滑杆(22)插入到位于左侧的所述防护机构(21)中并与位于左侧的所述防护机构(21)滑动连接;所述防护机构(21)包括前挡板(211)以及安装在所述前挡板(211)后端拐角处的滑动套杆(212),所述前挡板(211)底端的两个拐角处以及所述滑动套杆(212)的下方均安装有万向轮(213),所述万向轮(213)上安装有轮刹(2131),所述前挡板(211)的顶端安装有顶挡板(214);所述前挡板(211)的顶端紧密焊接有一对呈L型片状结构的固定片(2111),所述顶挡板(214)通过螺栓安装在所述固定片(2111)上;位于左侧所述防护机构(21)上的所述前挡板(211)的右端面处开设有若干个插孔(2112),所述插孔(2112)与所述滑杆(22)的数量相等且位置一一对应,所述滑杆(22)插入到所述插孔(2112)中并与所述插孔(2112)滑动连接,所述前挡板(211)的顶端边缘处开设有与最上方所述插孔(2112)相连通的螺纹孔,螺纹孔中安装有第一拧把(2113),所述第一拧把(2113)的底部紧密焊接有螺纹杆,螺纹杆与所述前挡板(211)上的螺纹孔螺纹连接,螺纹杆的底端抵在所述滑杆(22)的表面上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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