[发明专利]一种金刚石高精度微槽表面的加工方法在审
| 申请号： | 201910397980.6 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN110202265A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 姜海涛;崔健磊;孙大智;孙瑜;殷东平;梅雪松;王文君 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/364;B23K26/04 |
| 代理公司： | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人： | 王林 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开提供一种金刚石高精度微槽表面的加工方法，包括步骤：金刚石样片进行清洗处理；搭建激光加工光路；通过激光在金刚石表面进行微槽加工；加工后处理；所述激光加工光路包括小孔光阑、平凸透镜和工作台，所述小孔光阑调节入射激光能量分布的均匀性，并决定聚焦光斑直径；入射激光光束通过所述平凸透镜进行聚焦；聚焦后的激光对放置在所述工作台上的金刚石样片进行微细加工；本发明利用小孔光阑和聚焦‑进价加工的方式提高激光加工过程中的加工精度，从而实现金刚石微槽表面的高精度。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 微槽 小孔光阑 加工 激光加工光路 平凸透镜 聚焦 激光 激光加工过程 入射激光光束 入射激光能量 金刚石表面 后处理 聚焦光斑 清洗处理 微细加工 工作台 均匀性 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石高精度微槽表面的加工方法，其特征在于，包括步骤：S1，金刚石样片进行清洗处理：S2，搭建激光加工光路；S3，通过激光在金刚石表面进行微槽加工；S4，加工后处理；所述激光加工光路包括小孔光阑、平凸透镜和工作台，入射激光光束通过所述平凸透镜进行聚焦；聚焦后激光对放置在所述工作台上的所述金刚石样片进行微细加工；所述小孔光阑设置于所述平凸透镜前部，用于调节入射激光能量分布的均匀性，通过调节所述小孔光阑调节聚焦后激光形成的聚焦光斑的直径。
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