[发明专利]一种基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺有效
| 申请号： | 201910389354.2 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN110078020B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 马晶晶;欧文;罗九斌;台宪青 | 申请（专利权）人： | 江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅;张仕婷 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于吸气剂热‑电复合激活的真空烘烤工艺，属于半导体封装技术领域。其在烘烤除气步骤的后半阶段，通过电加热的方式将吸气剂提前激活参与除气，利用吸气剂的再激活特性，反复激活吸气剂，以达到抽气的最大效率。最后一次高温激活后结束烘烤和吸气剂激活工艺，进入真空焊接步骤。本发明在确保吸气剂最终有效激活的基础上，降低烘烤除气的时间，从而提高封装效率，节约封装成本。实际实施过程中，选择合适的吸气剂，充分利用吸气剂的再激活特性，采用间断、多次激活的方式，以保持吸气剂表面的吸气活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 吸气 复合 激活 真空 烘烤 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种基于吸气剂热‑电复合激活的真空烘烤工艺，其特征是：在烘烤除气步骤的后半阶段，通过电加热的方式将吸气剂提前激活参与除气，利用吸气剂的再激活特性，反复激活吸气剂，以达到抽气的最大效率，最后一次高温激活后结束烘烤和吸气剂激活工艺，进入真空焊接步骤。
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