[发明专利]一种基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺

权利要求书

1.一种基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺，其特征是：在烘烤除气步骤的后半阶段，通过电加热的方式将吸气剂提前激活参与除气，利用吸气剂的再激活特性，反复激活吸气剂，以达到抽气的最大效率；

最后一次高温激活后结束烘烤和吸气剂激活工艺，进入真空焊接步骤；

所述基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺，步骤如下：

（1）将待封装器件的各个部件固定在焊接炉内的夹具上，关闭腔体，开启真空泵；

（2）焊接炉内真空度达到10^-3Pa后，开启加热灯管，将焊接炉腔体内温度升高至烘烤温度120~150℃，开始烘烤除气；

（3）当焊接炉腔体内真空度达到10^-4Pa，即时间T₁时，吸气剂激活工艺启动；

（4）根据吸气剂激活和再激活特性，将吸气剂激活工艺温度点划分为4个，通过吸气剂内部加热丝将吸气剂温度升高至第一激活温度点，并保持一段时间至时间T₂以激活；

（5）减小吸气剂加热丝两端电流，将吸气剂温度降至吸气剂的工作温度200~250℃，随炉继续烘烤至时间T₃；

（6）启动吸气剂二次激活工艺，加大吸气剂加热丝电流，将吸气剂温度升高至第二激活温度点，并保持至时间T₄以激活；

（7）减小吸气剂加热丝电流，将吸气剂温度降至吸气剂的工作温度，随炉继续烘烤至时间T₅；

（8）启动吸气剂三次激活工艺，加大吸气剂加热丝电流，将吸气剂温度升高至第三激活温度点，并保持至时间T₆以激活；

（9）减小吸气剂加热丝电流，将吸气剂温度降至吸气剂的工作温度，随炉继续烘烤至时间T₇；

（10）启动吸气剂三次激活工艺，加大吸气剂加热丝电流，将吸气剂温度升高至第四激活温度点，并保持至时间T₈以激活；

（11）切断吸气剂加热丝电流，将吸气剂温度降至炉温，继续烘烤至时间T₉，此时焊接炉腔体内的真空度达10^-5量级；

（12）结束烘烤除气和吸气剂激活工序，进入焊接步骤。

2.如权利要求1所述基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺，其特征是：所述吸气剂为吸气能力高于器件设计寿命需要的50%；对于温度敏感器件的封装，吸气剂激活温度不超过450℃，吸气剂带有自加热电阻丝，支持脉冲电激活。

3.如权利要求1所述基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺，其特征是：所述吸气剂由锆钒铁合金和锆粉以6：4的比例混合高温烧结而成。

4.如权利要求3所述基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺，其特征是：所述吸气剂具体为ZrVFe多孔合金吸气剂。

5.如权利要求3所述基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺，其特征是：所述激活工艺温度点分别为第一激活温度点300~350℃，第二激活温度点350~400℃，第三激活温度点400~450℃，第四激活温度点450~500℃。

6.如权利要求1所述基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺，其特征是：所述激活温度点个数、激活次数和再激活时间的选择，取决于封装器件及焊接炉的实际工况而有所变化，以吸气剂足够提供被封装器件寿命所需吸气量为前提。

7.如权利要求6所述基于吸气剂热-电复合激活的真空烘烤工艺，其特征是：所述激活工艺中激活温度点个数为3-6个，相应激活次数与温度点个数一致。