[发明专利]一种基于亚微米耦合的三轴位移台

摘要

本发明涉及位移台技术领域，且公开了一种基于亚微米耦合的三轴位移台，包括底板，所述底板的顶部左侧固定安装有竖板，所述竖板的右侧固定安装有第一推杆，所述第一推杆的输出端固定安装有延伸板，所述延伸板的右侧固定安装有定板。该基于亚微米耦合的三轴位移台，通过设置在波纹软管上的进尘管和过滤板上的清气管，使用者在使用设备时，使用者开启气泵，气泵通过进尘管吸收设备附近的灰尘通过连接管送入灰尘箱的内部，过滤板过滤掉空气中的灰尘，清新的空气通过清气管排出，如此，设备环境内的灰尘大大减少，设备在定位时受到的影响变小，定位更加精准，免去了使用者的烦恼，方便了使用者的使用。

主权项

1.一种基于亚微米耦合的三轴位移台，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部左侧固定安装有竖板(2)，所述竖板(2)的右侧固定安装有第一推杆(3)，所述第一推杆(3)的输出端固定安装有延伸板(4)，所述延伸板(4)的右侧固定安装有定板(5)，所述定板(5)的内部活动安装有一端贯穿并延伸到定板(5)右侧的活动板(6)，所述活动板(6)的右侧固定安装有托板(7)，所述托板(7)的顶部固定安装有第二推杆(8)，所述第二推杆(8)的输出端固定安装有移台台体(9)，所述竖板(2)的右侧且位于第一推杆(3)的后侧固定安装有载板(10)，所述载板(10)正面固定安装有输出端与活动板(6)固定连接的第三推杆(11)，所述底板(1)的顶部且位于竖板(2)的右侧固定安装有贴合板(12)，所述贴合板(12)的顶部右侧固定安装有气泵(13)，所述气泵(13)的进气口连通有波纹软管(14)，所述波纹软管(14)的顶部连通有进尘管(15)，所述贴合板(12)的顶部左侧固定安装有灰尘箱(16)，所述灰尘箱(16)的内部连通有一端与气泵(13)出气口连通的连接管(17)，所述灰尘箱(16)的内部设置有过滤板(18)，所述灰尘箱(16)的内部且位于过滤板(18)的左侧固定安装有一端贯穿并延伸到灰尘箱(16)左侧的清气管(19)。