[发明专利]一种基于亚微米耦合的三轴位移台

权利要求书

1.一种基于亚微米耦合的三轴位移台，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部左侧固定安装有竖板(2)，所述竖板(2)的右侧固定安装有第一推杆(3)，所述第一推杆(3)的输出端固定安装有延伸板(4)，所述延伸板(4)的右侧固定安装有定板(5)，所述定板(5)的内部活动安装有一端贯穿并延伸到定板(5)右侧的活动板(6)，所述活动板(6)的右侧固定安装有托板(7)，所述托板(7)的顶部固定安装有第二推杆(8)，所述第二推杆(8)的输出端固定安装有移台台体(9)，所述竖板(2)的右侧且位于第一推杆(3)的后侧固定安装有载板(10)，所述载板(10)正面固定安装有输出端与活动板(6)固定连接的第三推杆(11)，所述底板(1)的顶部且位于竖板(2)的右侧固定安装有贴合板(12)，所述贴合板(12)的顶部右侧固定安装有气泵(13)，所述气泵(13)的进气口连通有波纹软管(14)，所述波纹软管(14)的顶部连通有进尘管(15)，所述贴合板(12)的顶部左侧固定安装有灰尘箱(16)，所述灰尘箱(16)的内部连通有一端与气泵(13)出气口连通的连接管(17)，所述灰尘箱(16)的内部设置有过滤板(18)，所述灰尘箱(16)的内部且位于过滤板(18)的左侧固定安装有一端贯穿并延伸到灰尘箱(16)左侧的清气管(19)。

2.根据权利要求1所述的一种基于亚微米耦合的三轴位移台，其特征在于：所述底板(1)和竖板(2)均为不锈钢板，所述底板(1)的厚度为三厘米。

3.根据权利要求1所述的一种基于亚微米耦合的三轴位移台，其特征在于：所述竖板(2)的右侧且位于第一推杆(3)的外部固定安装有安装罩，所述安装罩为铜铝合金，所述安装罩的内壁厚度为一厘米。

4.根据权利要求1所述的一种基于亚微米耦合的三轴位移台，其特征在于：所述定板(5)的右侧开设有T形槽，所述活动板(6)与T形槽相匹配，所述活动板(6)为不锈钢板。

5.根据权利要求1所述的一种基于亚微米耦合的三轴位移台，其特征在于：所述进尘管(15)为PVC管，所述进尘管(15)的外部套接有限位套，所述限位套的左右两侧均固定安装有一端与活动板(6)固定连接的连接支杆。

6.根据权利要求1所述的一种基于亚微米耦合的三轴位移台，其特征在于：所述过滤板(18)的左侧开设有一端贯穿并延伸到过滤板(18)右侧的过滤孔，所述过滤孔的直径为八十微米。