[发明专利]一种晶圆取放机械手及限位装置

摘要

本发明公开了一种晶圆取放机械手及限位装置，包括升降机架和能够在升降机架上移动的滑台，滑台用于承载装载机构；升降机架上固设有限位柱，限位柱上沿轴向设有若干个限位片，滑台上设有与装载机构联动的限位凸头，限位凸头在装载机构取放物品时进入两个限位片之间，限位片能够限制限位凸头沿限位柱的轴向移动范围；限位凸头和限位片均由金属材料制成，限位凸头连接有第一电极，限位片连接有第二电极，第一电极与第二电极导通时驱动滑台移动的位移机构断电。本发明的机械手即使发生机械或电气或程序故障，也不会损坏晶圆和设备本身。

主权项

1.一种限位装置，其特征在于：包括升降机架和能够在所述升降机架上移动的滑台，所述滑台用于承载装载机构；所述升降机架上固设有限位柱，所述限位柱上沿轴向设有若干个限位片，所述滑台上设有与所述装载机构联动的限位凸头，所述限位凸头在所述装载机构取放物品时进入两个所述限位片之间，所述限位片能够限制所述限位凸头沿所述限位柱的轴向移动范围；所述限位凸头和所述限位片均由金属材料制成，所述限位凸头连接有第一电极，所述限位片连接有第二电极，所述第一电极与所述第二电极导通时驱动所述滑台移动的位移机构断电。