[发明专利]一种超快激光多光束并行加工装置及方法

摘要

本发明涉及激光加工技术领域，提供了一种超快激光多光束并行加工装置及方法，装置包括控制系统、脉冲激光系统以及连续激光系统，脉冲激光系统包括沿光路设置的脉冲激光器、第一扩束单元、空间光调制器、第一振镜单元以及第一场镜，脉冲激光器以及第一振镜单元均与控制系统连接；控制空间光调制器以对脉冲激光进行调制，形成多束脉冲激光；调节脉冲激光系统中的第一振镜单元，以使得多束脉冲激光形成多交点阵列聚焦至待加工物体。本实施例通过脉冲激光和连续激光的配合来对待加工物体进行加工，有效提高加工效率和灵活性，有效改善了加工效果。

主权项

1.一种超快激光多光束并行加工装置，其特征在于，包括控制系统、脉冲激光系统以及连续激光系统，所述脉冲激光系统包括：脉冲激光器，与所述控制系统连接，用于产生脉冲激光；第一扩束单元，设于所述脉冲激光器的出光路径上，用于对所述脉冲激光进行扩束；空间光调制器，设于所述第一扩束单元的出光路径上；第一振镜单元，与所述控制系统连接，所述第一振镜单元设于所述空间光调制器的出光路径上；以及第一场镜，设于所述第一振镜单元的出光路径上，用于对所述脉冲激光进行聚焦；所述连续激光系统与所述控制系统连接，用于提供连续激光。