[发明专利]一种超快激光多光束并行加工装置及方法

权利要求书

1.一种超快激光多光束并行加工装置，其特征在于，包括控制系统、脉冲激光系统以及连续激光系统，所述脉冲激光系统包括：

脉冲激光器，与所述控制系统连接，用于产生脉冲激光；

第一扩束单元，设于所述脉冲激光器的出光路径上，用于对所述脉冲激光进行扩束；

空间光调制器，设于所述第一扩束单元的出光路径上；

第一振镜单元，与所述控制系统连接，所述第一振镜单元设于所述空间光调制器的出光路径上；以及

第一场镜，设于所述第一振镜单元的出光路径上，用于对所述脉冲激光进行聚焦；

所述连续激光系统与所述控制系统连接，用于提供连续激光。

2.如权利要求1所述的超快激光多光束并行加工装置，其特征在于，所述连续激光系统包括：

连续激光器，与所述控制系统连接，用于产生连续激光；

第二扩束单元，设于所述连续激光器的出光路径上，用于对所述连续激光进行扩束；

第二振镜单元，与所述控制系统连接，所述第二振镜单元设于所述第二扩束单元的出光路径上；以及

第二场镜，设于所述第二振镜单元的出光路径上，用于对所述连续激光进行聚焦。

3.如权利要求1所述的超快激光多光束并行加工装置，其特征在于，所述空间光调制器包括沿光路依次设置的透镜、小孔阵列以及物镜。

4.如权利要求1所述的超快激光多光束并行加工装置，其特征在于，所述第一振镜单元包括扫描振镜和垂直导轨；

所述扫描振镜设于所述空间光调制器的出光路径上，且与所述控制系统连接；

所述扫描振镜与所述垂直导轨连接且可沿所述垂直导轨滑动，所述垂直导轨用于调节所述脉冲激光竖直方向上的焦点位置。

5.如权利要求1所述的超快激光多光束并行加工装置，其特征在于，所述脉冲激光系统还包括快门，所述快门设于所述脉冲激光器与所述光分束器之间，且所述快门与所述控制系统连接；

和/或，所述脉冲激光系统还包括聚焦镜，所述聚焦镜设于所述脉冲激光器与所述光分束器之间，用于将所述脉冲激光聚焦至所述光分束器；

和/或，所述脉冲激光系统还包括衰减器，所述衰减器设于所述脉冲激光器与所述光分束器之间，用于对所述脉冲激光的强度进行调整；

和/或，所述脉冲激光系统还包括滤光片，所述滤光片设于所述第一振镜单元和所述第一场镜之间。

6.如权利要求1所述的超快激光多光束并行加工装置，其特征在于，所述脉冲激光系统还包括微位移单元；

所述微位移单元包括微位移平台和半反半透镜，所述微位移平台与所述控制系统连接；

所述半反半透镜设于所述第一振镜单元和所述第一场镜之间；

所述微位移平台设于所述半反半透镜的反射路径上，且所述微位移平台和所述第一场镜分别设于所述半反半透镜的相对两侧。

7.如权利要求1所述的超快激光多光束并行加工装置，其特征在于，所述脉冲激光系统还包括监控单元，所述监控单元设于所述第一场镜的出光路径上，至少用于对所述脉冲激光进行监控。

8.如权利要求1～7任一项所述的超快激光多光束并行加工装置，其特征在于，所述超快激光多光束并行加工装置还包括工作台，所述工作台用于放置待加工物体。

9.一种超快激光多光束并行加工方法，其特征在于，包括：

控制连续激光系统输出连续激光至待加工物体；

控制脉冲激光系统输出脉冲激光至所述待加工物体；

调节所述连续激光系统和所述脉冲激光系统的扫描振镜以及工作台，以使得所述连续激光和所述脉冲激光对所述加工物体进行精细微细加工。

10.如权利要求9所述的超快激光多光束并行加工方法，其特征在于，所述控制脉冲激光系统输出脉冲激光至所述待加工物体，包括：

控制所述脉冲激光系统中的脉冲激光器，以使得所述脉冲激光器产生脉冲激光；

控制所述脉冲激光系统中的空间光调制器，以对所述脉冲激光进行调制，形成多束脉冲激光；

调节所述脉冲激光系统中的扫描振镜，以使得多束所述脉冲激光形成多焦点阵列聚焦至所述待加工物体。