[发明专利]一种激光偏摆装置在审
| 申请号： | 201910349252.8 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN109946830A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 张桂鑫;汤晖;潘皓宇;廖智燊;杨依明;李烁;郭晓晖;苏宇俊 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 510060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光偏摆装置，包括用于支撑反射镜底座的柔性放大机构以及装设在所述柔性放大机构中的压电驱动器，所述柔性放大机构横向两端设有竖向延伸、用于输入所述压电驱动器横向位移的竖向连接块，所述柔性放大机构竖向两侧设有横向延伸、用于输出竖向位移的横向连接块，所述横向连接块上设有用以实现输入的横向位移转化为输出的竖向位移的柔性铰接，三个所述柔性放大机构呈正三角型分布，所述柔性放大机构上设有用以实现减振的柔性减振机构。上述激光偏摆装置通过三组柔性放大机构和压电驱动器实现偏摆，通过柔性减振机构实现减振，成本低且易于控制，提高了三维纳米直写的加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性放大机构 压电驱动器 偏摆装置 横向连接块 激光 横向位移 减振机构 竖向位移 减振 反射镜底座 横向两端 横向延伸 柔性铰接 竖向连接 竖向延伸 输出 偏摆 竖向 直写 三维 支撑 加工 转化 | ||
【主权项】：
1.一种激光偏摆装置，其特征在于，包括用于支撑反射镜底座(8)的柔性放大机构(1)以及装设在所述柔性放大机构(1)中的压电驱动器(2)，所述柔性放大机构(1)横向两端设有竖向延伸、用于输入所述压电驱动器(2)横向位移的竖向连接块，所述柔性放大机构(1)竖向两侧设有横向延伸、用于输出竖向位移的横向连接块，所述横向连接块上设有用以实现输入的横向位移转化为输出的竖向位移的柔性铰接，三个所述柔性放大机构(1)呈正三角型分布，所述柔性放大机构(1)上设有用以实现减振的柔性减振机构(20)。
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