[发明专利]一种激光偏摆装置在审
| 申请号： | 201910349252.8 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN109946830A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 张桂鑫;汤晖;潘皓宇;廖智燊;杨依明;李烁;郭晓晖;苏宇俊 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 510060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性放大机构 压电驱动器 偏摆装置 横向连接块 激光 横向位移 减振机构 竖向位移 减振 反射镜底座 横向两端 横向延伸 柔性铰接 竖向连接 竖向延伸 输出 偏摆 竖向 直写 三维 支撑 加工 转化 | ||
1.一种激光偏摆装置，其特征在于，包括用于支撑反射镜底座(8)的柔性放大机构(1)以及装设在所述柔性放大机构(1)中的压电驱动器(2)，所述柔性放大机构(1)横向两端设有竖向延伸、用于输入所述压电驱动器(2)横向位移的竖向连接块，所述柔性放大机构(1)竖向两侧设有横向延伸、用于输出竖向位移的横向连接块，所述横向连接块上设有用以实现输入的横向位移转化为输出的竖向位移的柔性铰接，三个所述柔性放大机构(1)呈正三角型分布，所述柔性放大机构(1)上设有用以实现减振的柔性减振机构(20)。
2.根据权利要求1所述的激光偏摆装置，其特征在于，所述柔性放大机构(1)包括位于横向两端的第一竖向连接块(11)和第二竖向连接块(19)，还包括位于竖向上侧且依次连接的第一横向连接块(13)、第二横向连接块(15)和第三横向连接块(17)，所述第一横向连接块(13)和所述第一竖向连接块(11)之间设有第一柔性铰接(12)，所述第三横向连接块(17)和所述第二竖向连接块(19)之间设有第四柔性铰接(18)。
3.根据权利要求2所述的激光偏摆装置，其特征在于，所述柔性减振机构(20)设在所述第二横向连接块(15)上。
4.根据权利要求3所述的激光偏摆装置，其特征在于，所述柔性减振机构(20)上侧设有用于直接支撑反射镜底座(8)的连接片(6)。
5.根据权利要求3所述的激光偏摆装置，其特征在于，所述柔性减振机构(20)包括用于连接所述连接片(6)的第一减振本体和用于连接所述第二横向连接块(15)的第二减振本体，所述第一减振本体与所述第二减振本体的两端通过柔性铰接相连。
6.根据权利要求3所述的激光偏摆装置，其特征在于，所述第二横向连接块(15)与所述第一横向连接块(13)之间设有第二柔性铰接(14)，所述第二横向连接块(15)与所述第三横向连接块(17)之间设有第三柔性铰接(16)。
7.根据权利要求1至6任一项所述的激光偏摆装置，其特征在于，还包括呈正三角型分布的固定架(3)，三个所述柔性放大机构(1)分别固定在所述固定架(3)的三个固定面上。
8.根据权利要求7所述的激光偏摆装置，其特征在于，所述柔性放大机构(1)设有向下延伸的固定段，所述固定段通过柔性放大机构固定螺栓(5)固定在所述固定架(3)上。
9.根据权利要求7所述的激光偏摆装置，其特征在于，还包括设有开口腔的连体外壳(7)，所述柔性放大机构(1)固定在所述连体外壳(7)中。
10.根据权利要求9所述的激光偏摆装置，其特征在于，所述固定架(3)底侧设有底座螺栓(4)，所述底座螺栓(4)穿设所述连体外壳(7)的底面以实现所述柔性放大机构(1)的固定。
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