[发明专利]一种单个粒子敏感气体传感器及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201910348839.7 | 申请日： | 2019-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110031512B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 范祥祥;徐亚娟;贺无名;黄旭;曾梦佳 | 申请（专利权）人： | 湖州师范学院 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 瞿晓晶 |
| 地址： | 313000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及气体传感器技术领域，尤其涉及一种单个粒子敏感气体传感器及其制备方法和应用，本发明提供的一种单个粒子敏感气体传感器的制备方法，包括以下步骤：提供传感器衬底；采用单粒子捕获法在所述传感器衬底表面沉积单粒子，得到单个粒子敏感气体传感器前驱体；将所述单个粒子敏感气体传感器前驱体进行退火处理，得到单个粒子敏感气体传感器。本发明所述的制备方法成本低、操作简单；利用所述制备方法制备得到的单个粒子敏感气体传感器可以避免粒子聚集和粒子生长，从而充分发挥纳米粒子的结构优势，能够增大比表面积、提高灵敏度、有助于气体在表面吸附和解吸过程中的响应恢复速率；也可以解决粒子聚集和二次生长带来的不稳定问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单个 粒子 敏感 气体 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种单个粒子敏感气体传感器的制备方法，包括以下步骤：提供传感器衬底；采用单粒子捕获法在所述传感器衬底的表面沉积单粒子，形成单个粒子敏感层，得到单个粒子敏感气体传感器前驱体；将所述单个粒子敏感气体传感器前驱体进行退火处理，得到单个粒子敏感气体传感器。
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