[发明专利]一种电镀层孔隙率测量装置及测量方法在审
申请号: | 201910345166.X | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN109975194A | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | 冯建松;徐楠;章晓冬;董进华;陈利民 | 申请(专利权)人: | 广东天承科技有限公司 |
主分类号: | G01N15/08 | 分类号: | G01N15/08 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 510990 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种电镀层孔隙率测量装置及测量方法,所述装置包括观察相机和箱体,所述箱体内装有光源,箱体一面开有窗口,所述窗口位于相机下方。利用该装置测量时,先对电镀后的样品板进行蚀刻,然后将蚀刻后的样品板置于箱体中,镀层一面贴近窗口,打开光源进行背光测试,同时用相机将板面漏光情况拍成图像;统计所得图像上的亮点数量,计算出孔隙率。本发明通过上述装置和方法实现了对电镀层孔隙率的定量测量。通过对统计得到的孔隙率进行进一步的分析和对比,能够对镀层孔隙率作出比较科学的定量描述,为优化工艺条件提供参考。此外,本发明提供的测量装置结构简单,测量过程容易实现,适用于大规模推广,应用前景良好。 | ||
搜索关键词: | 孔隙率 电镀层 蚀刻 相机 测量装置 样品板 光源 测量 测量装置结构 优化工艺条件 图像 背光测试 测量过程 定量测量 镀层孔隙 装置测量 电镀 板面 镀层 漏光 统计 参考 观察 应用 分析 | ||
【主权项】:
1.一种电镀层孔隙率测量装置,其特征在于,所述装置包括观察相机和箱体,所述箱体内装有光源,箱体一面开有窗口,所述窗口位于相机下方。
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