[发明专利]一种阀门低温检漏系统及检漏方法在审
| 申请号： | 201910343563.3 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110082046A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 吕秉坤;徐冬;李来风;刘辉明;黄荣进;沈福至;李旭;贾朋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G01M3/22 | 分类号： | G01M3/22;G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛;谭云 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及阀门低温检漏测试技术领域，尤其涉及一种阀门低温检漏系统及检漏方法，包括：供配气装置、制冷装置、第一氦质谱检漏仪、第二氦质谱检漏仪、多条进气管路、多条出气管路以及真空检测平台，供配气装置通过进气管路与真空检测平台连通，第一氦质谱检漏仪与真空检测平台连通，第二氦质谱检漏仪通过出气管路与真空检测平台连通，每一对进气管路与出气管路分别连接在对应待测阀门的两端，在第一氦质谱检漏仪、第二氦质谱检漏仪、进气管路以及出气管路分别设有阀。本发明利用制冷装置作为冷源，提高了试验的安全性和可靠性，降低人力成本和测试费用，样品温度精确可控，一次试验能够检测多个待测阀门，测试周期短。 | ||
| 搜索关键词： | 氦质谱检漏仪 阀门 出气管路 进气管路 真空检测 检漏 连通 检漏系统 配气装置 制冷装置 测试技术领域 测试费用 测试周期 人力成本 试验 可控 冷源 检测 | ||
【主权项】：
1.一种阀门低温检漏系统，其特征在于，包括：供配气装置、制冷装置、第一氦质谱检漏仪、第二氦质谱检漏仪、多条进气管路、多条出气管路以及真空检测平台，所述制冷装置和待测阀门均设于所述真空检测平台，所述供配气装置通过进气管路与所述真空检测平台连通，所述第一氦质谱检漏仪与所述真空检测平台连通，所述第二氦质谱检漏仪通过出气管路与所述真空检测平台连通，每一对所述进气管路与所述出气管路分别连接在对应所述待测阀门的两端，在所述第一氦质谱检漏仪、第二氦质谱检漏仪、进气管路以及出气管路分别设有阀。
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