[发明专利]一种阀门低温检漏系统及检漏方法

权利要求书

1.一种阀门低温检漏系统，其特征在于，包括：供配气装置、制冷装置、第一氦质谱检漏仪、第二氦质谱检漏仪、多条进气管路、多条出气管路以及真空检测平台，所述制冷装置和待测阀门均设于所述真空检测平台，所述供配气装置通过进气管路与所述真空检测平台连通，所述第一氦质谱检漏仪与所述真空检测平台连通，所述第二氦质谱检漏仪通过出气管路与所述真空检测平台连通，每一对所述进气管路与所述出气管路分别连接在对应所述待测阀门的两端，在所述第一氦质谱检漏仪、第二氦质谱检漏仪、进气管路以及出气管路分别设有阀。

2.根据权利要求1所述的阀门低温检漏系统，其特征在于，还包括预冷装置，所述预冷装置包括换热腔，所述换热腔设有介质进口和介质出口，所述进气管路的中段制成盘管，并伸入所述换热腔，与所述换热腔内的换热介质进行换热。

3.根据权利要求1所述的阀门低温检漏系统，其特征在于，所述供配气装置包括并联连接的供配气管路以及吹扫管路，所述供配气管路与氦气源连通，且在所述供配气管路设有阀、流量计以及压力传感器，所述吹扫管路与氮气罐连通，且所述吹扫管路设有阀。

4.根据权利要求1所述的阀门低温检漏系统，其特征在于，所述真空检测平台包括温度传感器、真空罩、下底座、第一真空泵和第二真空泵，所述制冷装置和所述待测阀门均放置于所述下底座上，且由所述真空罩密封，所述第一真空泵与所述真空罩连通，所述第二真空泵与出气管路连通，所述温度传感器设于所述真空罩内。

5.根据权利要求4所述的阀门低温检漏系统，其特征在于，所述下底座包括三条短边及一条长边的十字平板形状，所述三条短边均设有挖槽，所述挖槽与所述多条进气管路连接，所述长边通过阀门连接件固定所述待测阀门。

6.根据权利要求5所述的阀门低温检漏系统，其特征在于，所述阀门连接件包括夹板和上底座，所述夹板将所述待测阀门固定在所述下底座上，所述上底座扣合在所述夹板上。

7.根据权利要求6所述的阀门低温检漏系统，其特征在于，还包括屏蔽罩，所述屏蔽罩安装于所述真空罩内侧，且扣设于所述待测阀门，所述真空罩具有与所述第一真空泵连接的开口、与所述进气管路连接的第一孔门以及与所述出气管路连接的第二孔门。

8.一种阀门低温检漏方法，其特征在于，包括：

S1、在室温下对进气管路、出气管路以及真空检测平台抽真空，打开制冷装置对真空检测平台降温；

S2、打开连接在同一个待测阀门上进气管路的阀和出气管路的阀以及第二氦质谱检漏仪的阀，关闭待测阀门，观察第二氦质谱检漏仪的示数，检测该待测阀门的内漏漏率，再打开第一氦质谱检漏仪的阀，观察第一氦质谱检漏仪的示数，检测该阀门进气端外漏漏率；

S3、按照S2的步骤，将待测阀门处于不同的高压力值的情况下，观察第一氦质谱检漏仪和第二氦质谱检漏仪示数，对该待测阀门在不同的高压力值下进行内漏漏率检测和进气端外漏漏率检测；

S4、关闭进气管路的阀和出气管路的阀，并在设定压力条件下，打开一个待测阀门，打开该待测阀门出气管路的阀，并开始逐渐排气卸压，同时调节该待测阀门的开闭状态，并观察第一氦质谱检漏仪的示数，对该待测阀门进行整体外漏漏率检测。