[发明专利]一种清洗液、其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201910332448.6 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN109988676A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王溯;史筱超;马丽 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/82 | 分类号： | C11D1/82;C11D3/00;C11D3/20;C11D3/26;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/33;C11D3/34;C11D3/36;C11D3/386;H01L21/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;陈卓 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗液、其制备方法和应用。所述的清洗液，其原料包括下列质量分数的组分：0.01％‑25％的强碱、0.01％‑30％的醇胺、0.01％‑10％的缓蚀剂、0.01％‑10％的螯合剂、0.01％‑5％的表面活性剂、0.002％‑0.1％的抗氧化剂、以及水，各组分质量分数之和为100％；所述的表面活性剂为MPEG改性的氯丙基‑POSS。本发明的表面活性剂，使清洗液在各个方面的性能均有所提升，尤其是在强碱为胆碱或三(2‑羟乙基)甲基氢氧化铵时效果很好，在生物兼容性方面大大提升。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗液 表面活性剂 制备方法和应用 强碱 质量分数 甲基氢氧化铵 生物兼容性 抗氧化剂 缓蚀剂 氯丙基 螯合剂 羟乙基 醇胺 胆碱 改性 | ||
【主权项】：
1.一种清洗液，其特征在于，其原料包括下列质量分数的组分：0.01％‑25％的强碱、0.01％‑30％的醇胺、0.01％‑10％的缓蚀剂、0.01％‑10％的螯合剂、0.01％‑5％的表面活性剂、0.001％‑1％的抗氧化剂、以及水，各组分质量分数之和为100％；所述的表面活性剂为MPEG改性的氯丙基‑POSS。
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