[发明专利]湿度计测试模块及其测试系统

摘要

本发明提供了一种湿度计测试模块及其测试系统，该湿度计测试模块包括一腔体、一测试载盘以及一测试针测座。腔体具有一湿度腔体空间以及一温度水路，该湿度腔体空间具有一进气端及一排气端，并容设有一鳍片，温度水路环绕湿度腔体空间设置。测试载盘承载于腔体上，用以放置至少一个半导体元件，所述鳍片可将湿度气体由进气端引导至测试载盘上的至少一个半导体元件。从而，本发明可通过简易的结构设计，有效维持测试环境湿度、温度及压力的恒定性，同时可搭配既有的压力计测试分类机来使用，减少开发成本及提高互用性。