[发明专利]湿度计测试模块及其测试系统

权利要求书

1.一种湿度计测试模块，包括：

一腔体，具有一湿度腔体空间以及一温度水路，该湿度腔体空间具有一进气端及一排气端，并容设有一鳍片，该温度水路环绕该湿度腔体空间设置；

一测试载盘，承载于该腔体上，用以容置至少一个半导体元件；以及

一测试针测座，包括一测试载板及连接该测试载板的多个探针，用以取得该半导体元件的测试信息；

其中，鳍片可将湿度气体由进气端引导至测试载盘上的至少一个半导体元件。

2.一种湿度计测试模块，包括：

多个腔体，每一腔体分别具有一湿度腔体空间以及一温度水路，该湿度腔体空间具有一进气端及一排气端，并容设有一鳍片，该温度水路环绕该湿度腔体空间设置；

一测试载盘，承载于多个腔体上，用以放置至少一个半导体元件；以及

一测试针测座，包括一测试载板及连接该测试载板的多个探针，用以取得该半导体元件的测试信息；

其中，鳍片可将湿度气体由进气端引导至测试载盘上的至少一个半导体元件。

3.根据权利要求1或2所述的湿度计测试模块，其特征在于，所述鳍片为一圆弧状的弯曲鳍片。

4.根据权利要求1或2所述的湿度计测试模块，其特征在于，所述鳍片为一曲线造型的斜向鳍片。

5.根据权利要求1或2所述的湿度计测试模块，其特征在于，所述腔体外侧还包括一外罩，用以避免该腔体受外界环境温度的干扰。

6.根据权利要求1或2所述的湿度计测试模块，其特征在于，所述腔体还包括一加热元件或一制冷芯片，用以维持湿度腔体空间温度的恒定性。

7.根据权利要求1或2所述的湿度计测试模块，其特征在于，所述温度水路设置于该腔体的侧壁及底部。

8.一种湿度计测试系统，包括：

一湿度计测试模块，包括一腔体、一测试载盘以及一测试针测座，该腔体具有一湿度腔体空间以及一温度水路，该湿度腔体空间具有一进气端及一排气端，并容设有一鳍片，该温度水路环绕该湿度腔体空间设置；测试载盘承载于该腔体上，用以放置至少一个半导体元件；测试针测座包括一测试载板及连接该测试载板的多个探针，用以取得半导体元件的测试信息；

一循环水温控制器，连接该温度水路，用以维持循环水温的恒定性；

一湿度控制模块，以一输送管路连接该进气端，包括一湿度产生器及一管路温控器，用以控制输送至该湿度计测试模块的气体湿度值及温度值；以及

一露点湿度计，连接该出气端，用以精确测定该湿度腔体空间内的气体中的水分组成。

9.一种湿度计测试系统，包括：

一湿度计测试模块，包括多个腔体、一测试载盘以及一测试针测座，每一腔体分别具有一湿度腔体空间以及一温度水路，该湿度腔体空间具有一进气端及一排气端，并容设有一鳍片，该温度水路环绕该湿度腔体空间设置；该测试载盘承载于多个腔体上，用以放置至少一个半导体元件；该测试针测座包括一测试载板及连接该测试载板的多个探针，用以取得该半导体元件的测试信息；

一循环水温控制器，连接该温度水路，用以维持循环水温的恒定性；

一湿度控制模块，以一输送管路连接该进气端，包括一湿度产生器及一管路温控器，用以控制输送至该湿度计测试模块的气体湿度值及温度值；以及一露点湿度计，连接该出气端，用以精确测定该湿度腔体空间内的气体中的水分组成。

10.根据权利要求8或9所述的湿度计测试系统，其特征在于，还包括一压力计或一温度计，连接该腔体，精确量测该湿度腔体空间的压力值及温度值。

11.根据权利要求8或9所述的湿度计测试系统，其特征在于，还包括一气压调节阀，设置于该输送管路中，可调整由湿度控制模块送出的气体流量。