[发明专利]衬底处理设备和方法在审
| 申请号： | 201910310803.X | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN110416050A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | A·克拉弗 | 申请（专利权）人： | ASMIP控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 丁晓峰 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 提供一种衬底处理设备，所述衬底处理设备具有反应室和衬底固持器，所述衬底固持器构造并布置成在所述反应室中固持至少一个衬底。第一和第二气体注射器从源管向所述反应室的内部提供处理气体。气体控制系统实现处理气体从所述源管流到所述第一注射器，同时限制所述同一处理气体从所述源管流到所述第二注射器。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底处理设备 反应室 源管 衬底固持器 处理气体 气体控制系统 第二注射器 第一注射器 气体注射器 同一处理 衬底 固持 | ||
【主权项】：
1.一种衬底处理设备，包括：反应室；衬底固持器，其构造并布置成在所述反应室中固持至少一个衬底；以及，气体注射器系统，其构造并布置成向所述反应室的内部提供处理气体，且具有气体控制系统，所述气体控制系统构造并布置成控制来自源管的处理气体流；其中所述气体注射器系统包括用于所述同一处理气体的第一和第二注射器，并且所述气体控制系统构造、布置和/或编程成实现所述处理气体从所述源管流到所述第一和第二注射器中的一个，同时限制所述同一处理气体流到所述第一和第二注射器中的另一个。
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