[发明专利]一种晶圆边缘管芯判定方法及系统有效
| 申请号： | 201910309016.3 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN110033470B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 彭义 | 申请（专利权）人： | 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司 |
| 主分类号： | G06T7/13 | 分类号： | G06T7/13;G06T7/11;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 林锦辉 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆边缘检测技术领域，公开了一种晶圆边缘管芯判定方法及系统，以晶圆中心点作为原点建立一个具有X向和Y向的平面晶圆图；即晶圆上的每一个点的位置都可以用X向和Y向上的值来描述；将晶圆根据加工管芯尺寸参数，从X向和Y向将晶圆分割成若干个管芯，并以每个管芯在晶圆图上的X向和Y向位置来对管芯位置参数进行描述；根据生产要求实际，将位于晶圆图最外沿的一圈或多圈管芯设定为晶圆的边缘管芯，并根据确定为边缘的管芯的位置参数计算出边缘与晶圆中心(即原点)的最小距离R，计算管芯与晶圆中心点(即原点)的距离，并与边缘与晶圆中心点(即原点)的最小距离R比较，判断管芯的位置是否为晶圆的边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 管芯 判定 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆边缘管芯判定方法，其特征在于，包括：晶圆图椭圆拟合，以晶圆中心点作为原点建立一个具有互相垂直的第一方向和第二方向的平面晶圆图；晶圆分割，将晶圆按照加工管芯尺寸参数，从第一方向和第二方向分割成若干个管芯，并以每个管芯在晶圆图上的第一方向和第二方向的位置作为参数来对管芯位置进行描述；边缘限定，将位于晶圆图最外沿的一圈或多圈管芯设定为晶圆的边缘管芯，并根据确定为边缘的管芯的位置参数计算出边缘与晶圆中心点的最小距离R；管芯位置确定，用管芯的位置参数计算管芯与晶圆中心点的距离，并与边缘与晶圆中心点的最小距离R比较，判断管芯的位置是否为晶圆的边缘。
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