[发明专利]一种晶圆边缘管芯判定方法及系统

权利要求书

1.一种晶圆边缘管芯判定方法，其特征在于，包括：

晶圆图椭圆拟合，以晶圆中心点作为原点建立一个具有互相垂直的第一方向和第二方向的平面晶圆图；

晶圆分割，将晶圆按照加工管芯尺寸参数，从第一方向和第二方向分割成若干个管芯，并以每个管芯在晶圆图上的第一方向和第二方向的位置作为参数来对管芯位置进行描述；

边缘限定，将位于晶圆图最外沿的一圈或N圈管芯设定为晶圆的边缘管芯，并根据确定为边缘的管芯的位置参数计算出边缘与晶圆中心点的最小距离R；

管芯位置确定，用管芯的位置参数计算管芯与晶圆中心点的距离，并与边缘与晶圆中心点的最小距离R比较，判断管芯的位置是否为晶圆的边缘；

所述晶圆分割中，设定在第一方向上晶圆中心点两端管芯列数分别为X_min、X_max，第二方向上晶圆中心点两端管芯行数分别为Y_min、Y_max，每个管芯在晶圆图上的位置为(X，Y)，其中X_min≤X≤X_max，且Y_min≤Y≤Y_max，X和Y的取值均为整数；

所述管芯位置确定，是将待判定的管芯与晶圆中心点的距离，和晶圆边缘到晶圆中心点位置最近的一个管芯与晶圆中心点的距离来进行比较从而判断该管芯的位置是否为在晶圆的边缘，所述晶圆中心点作为晶圆图的原点，则距离晶圆中心点位置最近的一个管芯为中心管芯，其位置为

所述管芯位置确定，是根据晶圆分割总共行列的数量，以椭圆几何公式描述每一个管芯与中心管芯之间的归一化距离R_(X，Y)，则任意一个管芯距中心管芯的归一化距离为

其中,

a为椭圆在第一方向的轴向特征值，等于晶圆图上的第一方向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的管芯圈数N以及管芯特征值常数P，

b为椭圆在第二方向的轴向特征值，等于晶圆图上的第二方向轴长的一半减去设定为晶圆边缘的管芯圈数N以及管芯特征值常数P，

若R_(X，Y)≤1+E，则判断该管芯位于非边缘，否则判断该管芯位于晶圆边缘，其中E为晶圆边缘特征值常数。

2.如权利要求1所述的一种晶圆边缘管芯判定方法，其特征在于：所述管芯特征值常数P为0.7；晶圆边缘特征值常数E为0.02。

3.如权利要求1所述的一种晶圆边缘管芯判定方法，其特征在于：设定管芯判断值为A，A＝R_(X，Y)-M，其中M为边缘判断特征值常数，M＝0.98；所述管芯位置确定时，代入待判定的管芯的位置(X，Y)、中心管芯的位置(X₀,Y₀)以及第一方向的轴向特征值a、第二方向的轴向特征值b、管芯特征值常数P和晶圆边缘特征值常数E，

计算得到结果A；

若A0，则判定缺陷管芯位于晶圆的边缘；若A≤0，则判定该缺陷管芯位于晶圆的内部。