[发明专利]扫描镜、扫描装置和照射装置有效
| 申请号: | 201910307770.3 | 申请日: | 2019-04-17 |
| 公开(公告)号: | CN110398795B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
| 发明(设计)人: | R·布吕斯特勒;T·马尔特 | 申请(专利权)人: | 通快激光有限责任公司 |
| 主分类号: | G02B5/08 | 分类号: | G02B5/08;G02B26/10;G02B1/00;B23K26/06 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
| 地址: | 德国施*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种用于使激光射束偏转的扫描镜(9a),包括:基体(12)以及用于反射激光射束的镜面(15)。基体(12)具有三维结构化的背侧(14)并由玻璃、尤其石英玻璃或由玻璃陶瓷、尤其微晶玻璃构成。本发明也涉及一种具有至少一个这种扫描镜(9a)的扫描装置以及一种具有这种扫描装置的照射装置。 | ||
| 搜索关键词: | 扫描 装置 照射 | ||
【主权项】:
1.一种用于使激光射束(5)偏转的扫描镜(9a、9b),包括:基体(12)以及用于反射所述激光射束(5)的镜面(15),其特征在于,所述基体(12)具有三维结构化的背侧(14)并且由玻璃或玻璃陶瓷制成。
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