[发明专利]扫描镜、扫描装置和照射装置

权利要求书

1.一种用于使激光射束(5)偏转的扫描镜(9a、9b)，包括：基体(12)以及用于反射所述激光射束(5)的镜面(15)，

其特征在于，

所述基体(12)具有三维结构化的背侧(14)并且由玻璃或玻璃陶瓷制成，其中，所述基体(12)在该基体的背离所述镜面(15)的背侧(14)上具有中央连接条(16)，该中央连接条从用于固定所述扫描镜(9a、9b)的保持区段(17)出发沿着所述扫描镜(9a、9b)的中轴线(10a、10b)延伸，其中，在该扫描镜中，在所述基体(12)的所述背侧(14)上构成有多个肋(19)，所述肋分别从所述中央连接条(16)出发朝着所述基体(12)的侧边缘(20a、20b)的方向延伸，其中，各个肋(19)的上侧(19a)至少在所述侧边缘(20a、20b)附近是弓形弯曲的。

2.根据权利要求1所述的扫描镜，在该扫描镜中，所述基体(12)由微晶玻璃或石英玻璃构成。

3.根据权利要求1或2所述的扫描镜，在该扫描镜中，所述镜面构成施加到所述基体(12)上的反射涂层。

4.根据权利要求1或2所述的扫描镜，在该扫描镜中，所述基体(12)具有在5毫米至8毫米之间的最大厚度(D)。

5.根据权利要求1或2所述的扫描镜，在该扫描镜中，所述基体(12)在该基体的背离所述镜面(15)的背侧(14)上具有锥形弯曲的表面区域(23)。

6.根据权利要求1或2所述的扫描镜，在该扫描镜中，所述中央连接条(16)与所述扫描镜(9a、9b)的所述中轴线(10a、10b)围成小于10°的开口角度(α)。

7.根据权利要求1或2所述的扫描镜，在该扫描镜中，所述肋(19)基本上垂直于所述扫描镜(9a、9b)的中轴线(10a、10b)地定向。

8.根据权利要求1或2所述的扫描镜，在该扫描镜中，所述肋(19)分别具有小于1毫米的最大宽度(b)。

9.根据权利要求1或2所述的扫描镜，在该扫描镜中，所述扫描镜(9a、9b)一体地构造；和/或

在该扫描镜中，所述中央连接条(16)的宽度(B)随着相对于所述保持区段(17)的间距的增大而减小。

10.根据权利要求1或2所述的扫描镜，在该扫描镜中，在所述基体(12)的所述背侧(14)上在所述肋(19)之间构成有袋形凹部(21)。

11.根据权利要求5所述的扫描镜，在该扫描镜中，所述锥形弯曲的表面区域(23)的轴线(24)相对于所述扫描镜(9a、9b)的前侧(13)以小于30°的角度(δ)定向。

12.根据权利要求10所述的扫描镜，在该扫描镜中，在各个袋形凹部(21)的底部(22)和所述基体(12)的前侧(13)之间的间距(A)小于1.0毫米。

13.一种用于使激光射束(5)偏转的扫描装置(7)，包括：至少一个根据权利要求1至12之一所述的扫描镜(9a、9b)，以及至少一个用于使所述扫描镜(9a、9b)围绕该扫描镜的中轴线(10a、10b)旋转的伺服驱动器(8a、8b)。

14.一种用于借助激光射束(5)照射加工区(3)的照射装置(1)，包括：

用于产生所述激光射束(5)的激光源(4)，

用于将所述激光射束(5)定向到所述加工区(3)上的根据权利要求13所述的扫描装置(7)，以及

用于将所述激光射束(5)聚焦在所述加工区(3)中的聚焦装置(6)。