[发明专利]静电吸盘系统、成膜装置和方法、吸附方法及电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 201910278040.5 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN110777332B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 柏仓一史;石井博 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/50;C23C14/54;H10K71/16 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供静电吸盘系统、成膜装置和方法、吸附方法及电子器件的制造方法。静电吸盘系统用于吸附被吸附体，其特征在于，包括：静电吸盘，具有电极部和吸附所述被吸附体的吸附面；电位差施加部，对所述电极部施加电位差；磁力产生部，被配置在所述静电吸盘的所述吸附面的相反侧；以及驱动机构，使所述磁力产生部在包含与所述静电吸盘的所述吸附面平行的第1方向在内的方向上移动。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 系统 装置 方法 吸附 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种静电吸盘系统，用于吸附被吸附体，其特征在于，/n该静电吸盘系统包括：/n静电吸盘，具有电极部和吸附所述被吸附体的吸附面；/n电位差施加部，对所述电极部施加电位差；/n磁力产生部，被配置在所述静电吸盘的所述吸附面的相反侧；以及/n驱动机构，使所述磁力产生部在包含与所述静电吸盘的所述吸附面平行的第1方向在内的方向上移动。/n
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