[发明专利]基于聚酰亚胺涂覆半导体纳米线基片的电子传感器在审
| 申请号： | 201910274270.4 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN110095507A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞斌;张敏 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于聚酰亚胺涂覆半导体纳米线基片的电子传感器，属于湿度探测、盐分探测以及皮肤汗液检测领域。通过温度和压力可控的低成本CVD方法在柔性云母衬底上生长组分可调的三元CdS1‑xSex(x＝0到1)合金半导体纳米结构，然后通过热蒸发或电子束蒸发镀膜技术，在分布有渐变纳米结构的基片上制作叉指电极结构，并用银胶将导电金属丝粘在叉指电极上引出外接电极，最后在基片表面旋涂聚酰亚胺薄膜，从而实现具有对湿度、盐分以及汗液进行探测的新型多功能传感器。所述电子传感器具有探测面积大、制作成本低、响应性能优良等特点，在高精度湿度、盐分探测以及皮肤汗液实时检测领域具有非常重要的意义与潜在的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 电子传感器 探测 涂覆半导体 叉指电极 聚酰亚胺 纳米结构 皮肤汗液 纳米线 电子束蒸发镀膜 云母 多功能传感器 聚酰亚胺薄膜 导电金属丝 合金半导体 汗液 基片表面 检测领域 湿度探测 实时检测 外接电极 响应性能 压力可控 低成本 可调的 潜在的 热蒸发 渐变 衬底 旋涂 银胶 制作 并用 生长 应用 | ||
【主权项】：
1.基于聚酰亚胺涂覆半导体纳米线基片的电子传感器，其特征在于：包括：云母片基底层、CdSSe纳米线沉积层、电极层和聚酰亚胺层；将所述CdSSe纳米线层沉积在云母片基底层上；通过热蒸发或电子束蒸发方式将电极层蒸镀在CdSSe纳米线沉积层表面；然后在电极层上面均匀涂覆聚酰亚胺溶液，静置固化后形成聚酰亚胺薄膜层，即得到电子传感器；所述电子传感器能够用于湿度测量、盐分测量。
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