[发明专利]一种基于激光诱导空化的纳尺度薄膜孔制备装置及其方法

摘要

本发明公开了一种基于激光诱导空化的纳尺度薄膜孔制备装置及其方法，所述装置包括高精度移动平台、盛有较高浓度盐溶液的大容器、载物支架平台、盛有较低浓度盐溶液的小容器、高透玻璃、橡胶垫圈、二维材料薄膜芯片、用于通过激光的透镜组、膜片钳电流放大器、电源及置于盐溶液中的Ag/AgCl电极。本发明还提供了采用所述装置制备纳尺度薄膜孔的方法，该方法能够稳定地在固态薄膜靶材上制备纳尺度微孔，尤其适用于阵列纳米孔结构的制造。

主权项

1.一种基于激光诱导空化的纳尺度薄膜孔制备装置，其特征在于：包括高精度移动平台（1），高精度移动平台（1）上设有大容器（2），所述大容器（2）内设置有悬空的载物支架平台（4），载物支架平台（4）上安装有上部开口的小容器（5），所述小容器（5）的底部和载物支架平台（4）均开设有孔，小容器（5）的底面与载物支架平台（4）贴合，小容器（5）的孔与载物支架平台（4）的孔处于贯通状态，小容器（5）的孔与载物支架平台（4）的孔内嵌有橡胶垫圈（8），所述橡胶垫圈（8）的中心也开设有孔，橡胶垫圈（8）的孔内设有二维材料薄膜芯片（9），所述二维材料薄膜芯片（9）上可产生空化泡（10）；所述小容器（5）的开口覆盖有高透玻璃（7），高透玻璃（7）上部具有透镜组（12）和激光发射器，激光发射器射出激光束（11），激光束（11）穿过透镜组（12）聚焦于二维材料薄膜芯片（9）；所述大容器（2）内盛有高浓度盐溶液（3），大容器（2）内的高浓度盐溶液（3）的漫过二维材料薄膜芯片（9）的高度，所述小容器（5）内盛有低浓度盐溶液（6）；所述高浓度盐溶液（3）内设有正电极, 低浓度盐溶液（6）内设置有负电极，正电极与负电极之间具有线路，线路上具有膜片钳电流放大器（13）和电源（14）。