[发明专利]一种静电多通路的束流偏转装置在审
| 申请号： | 201910267323.X | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN109887817A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 郭盘林 | 申请（专利权）人： | 郭盘林 |
| 主分类号： | H01J3/34 | 分类号： | H01J3/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电多通路的束流偏转装置，涉及带电粒子束流输运技术领域，包括真空室，用于为带电粒子束流的传输提供真空环境；偏转电极，均匀分布于所述真空室的内部，用于产生相应的偏转电场以改变所述带电粒子束流的偏转角度；修正电极，设置于两所述偏转电极之间，用于调整所述偏转电极产生的相应的边缘电场以保证所述带电粒子束流进入所述偏转电场的有效区域。本发明结构简洁、体积小巧、操作简单，偏转能量强。偏转电极采用圆柱形结构且均匀分布，对称性好，有效提升机械加工精度和使用安装精度，从而有效提高本发明的静电多通路的束流偏转装置的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 偏转 带电粒子束流 偏转电极 束流偏转装置 静电 多通路 电场 真空室 圆柱形结构 边缘电场 传输提供 机械加工 有效区域 真空环境 电极 输运 修正 保证 | ||
【主权项】：
1.一种静电多通路的束流偏转装置，其特征在于，具体包括：真空室，用于为带电粒子束流的传输提供真空环境；偏转电极，均匀分布于所述真空室的内部，用于产生相应的偏转电场以改变所述带电粒子束流的偏转角度；修正电极，设置于两所述偏转电极之间，用于调整所述偏转电极产生的相应的边缘电场以保证所述带电粒子束流进入所述偏转电场的有效区域。
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