[发明专利]一种静电多通路的束流偏转装置在审
| 申请号： | 201910267323.X | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN109887817A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 郭盘林 | 申请（专利权）人： | 郭盘林 |
| 主分类号： | H01J3/34 | 分类号： | H01J3/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 偏转 带电粒子束流 偏转电极 束流偏转装置 静电 多通路 电场 真空室 圆柱形结构 边缘电场 传输提供 机械加工 有效区域 真空环境 电极 输运 修正 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种静电多通路的束流偏转装置，其特征在于，具体包括：
真空室，用于为带电粒子束流的传输提供真空环境；
偏转电极，均匀分布于所述真空室的内部，用于产生相应的偏转电场以改变所述带电粒子束流的偏转角度；
修正电极，设置于两所述偏转电极之间，用于调整所述偏转电极产生的相应的边缘电场以保证所述带电粒子束流进入所述偏转电场的有效区域。
2.根据权利要求1所述的束流偏转装置，其特征在于，所述真空室和所述修正电极为地电位。
3.根据权利要求1所述的束流偏转装置，其特征在于，所述偏转电极为圆柱形电极。
4.根据权利要求1所述的束流偏转装置，其特征在于，施加于所述偏转电极的电压大小以及所述偏转电极的极性根据所述带电粒子束流的束流能量、粒子电荷数以及拟偏转角度进行设定。
5.根据权利要求1所述的束流偏转装置，其特征在于，所述偏转电极为四个，以实现所述带电粒子束流的所述偏转角度为90度。
6.根据权利要求1所述的束流偏转装置，其特征在于，所述偏转电极为六个，以实现所述带电粒子束流的所述偏转角度为60度。
7.根据权利要求1所述的束流偏转装置，其特征在于，所述偏转电极为八个，以实现所述带电粒子束流的所述偏转角度为45度和/或90度。
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