[发明专利]一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置

摘要

本发明公开了一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置，包括多工位公转单元、自适应自转单元、加压夹持单元和供雾单元；所述的多工位公转单元安装在龙门装置的动横梁上；多工位公转单元下方由上至下布置有自适应自转单元、加压夹持单元和供雾单元。本发明采用自转电机和精密转台分别控制自转及公转运动，实现了自公转转速的独立大范围无级调节。本发明采用基于配重环的重力式加载方案使抛光压力均匀施加至晶体工件抛光表面，有效抑制了面形精度的恶化。本发明采用滚珠花键移动副实现了自转轴轴向位置自适应，避免了磨抛板自身平面度误差对抛光运动及压力平稳性的影响。本发明采用多个自适应自转单元，增加了抛光工位数量，显著提高了抛光效率。

主权项

1.一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置，其特征在于：包括多工位公转单元、自适应自转单元、加压夹持单元和供雾单元；所述的多工位公转单元安装在龙门装置的动横梁(1)上；多工位公转单元下方由上至下布置有自适应自转单元、加压夹持单元和供雾单元；所述的多工位公转单元包括精密转台(14)、公转轴(2)、公转圆盘(4)、直线进给机构(12)、电机(16)和扭矩传感器(3)；所述的精密转台(14)固接在动横梁(1)上；精密转台(14)底部与公转轴(2)上端固接；公转轴(2)上安装有扭矩传感器(3)；公转轴(2)下端固接在公转圆盘(4)顶部中心；公转圆盘(4)上沿圆周均布多个直线进给机构(12)；各直线进给机构(12)的滑台(24)上均安装有自适应自转单元；公转圆盘(4)底部安装电机(16)，所述的电机(16)经锥齿轮传动机构(15)将扭矩同步传递给各直线进给机构(12)，使各自适应自转单元在位置调整时始终处于圆心在公转轴(2)轴线上的同一圆周上；所述的自适应自转单元包括自转电机(13)、花键轴(11)、花键套(18)、自转轴(10)和位移传感器(19)；所述的自转电机(13)与直线进给机构(12)固接；自转电机(13)输出轴底部连接花键轴(11)；花键轴(11)穿过内嵌滚珠的花键套(18)，形成滚珠花键移动副；花键套(18)底部与自转轴(10)固接；自转轴(10)上端面设置盲孔，用于配合滚珠花键移动副实现自转轴(10)轴向位置自适应；自转轴(10)底端设有球头结构；位移传感器(19)安装在直线进给机构(12)的滑台(24)底部，用于测量花键套(18)的轴向位移；所述的加压夹持单元包括夹具(22)、配重环(9)和螺栓(20)；所述的配重环(9)通过螺栓(20)与夹具(22)固接；所述的夹具(22)用于装夹晶体工件(8)；所述的供雾单元包括微水雾发生器(6)和磨抛板(5)；微水雾发生器(6)安装在基座(7)上，实现微水雾的产生及扩散；微水雾发生器(6)顶部固接有磨抛板(5)，磨抛板(5)上具有微孔，微水雾穿过微孔与晶体工件(8)接触。