[发明专利]一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置

权利要求书

1.一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置，其特征在于：包括多工位公转单元、自适应自转单元、加压夹持单元和供雾单元；所述的多工位公转单元安装在龙门装置的动横梁(1)上；多工位公转单元下方由上至下布置有自适应自转单元、加压夹持单元和供雾单元；

所述的多工位公转单元包括精密转台(14)、公转轴(2)、公转圆盘(4)、直线进给机构(12)、电机(16)和扭矩传感器(3)；所述的精密转台(14)固接在动横梁(1)上；精密转台(14)底部与公转轴(2)上端固接；公转轴(2)上安装有扭矩传感器(3)；公转轴(2)下端固接在公转圆盘(4)顶部中心；公转圆盘(4)上沿圆周均布多个直线进给机构(12)；各直线进给机构(12)的滑台(24)上均安装有自适应自转单元；公转圆盘(4)底部安装电机(16)，所述的电机(16)经锥齿轮传动机构(15)将扭矩同步传递给各直线进给机构(12)，使各自适应自转单元在位置调整时始终处于圆心在公转轴(2)轴线上的同一圆周上；

所述的自适应自转单元包括自转电机(13)、花键轴(11)、花键套(18)、自转轴(10)和位移传感器(19)；所述的自转电机(13)与直线进给机构(12)固接；自转电机(13)输出轴底部连接花键轴(11)；花键轴(11)穿过内嵌滚珠的花键套(18)，形成滚珠花键移动副；花键套(18)底部与自转轴(10)固接；自转轴(10)上端面设置盲孔，用于配合滚珠花键移动副实现自转轴(10)轴向位置自适应；自转轴(10)底端设有球头结构；位移传感器(19)安装在直线进给机构(12)的滑台(24)底部，用于测量花键套(18)的轴向位移；

所述的加压夹持单元包括夹具(22)、配重环(9)和螺栓(20)；所述的配重环(9)通过螺栓(20)与夹具(22)固接；所述的夹具(22)用于装夹晶体工件(8)；

所述的供雾单元包括微水雾发生器(6)和磨抛板(5)；微水雾发生器(6)安装在基座(7)上，实现微水雾的产生及扩散；微水雾发生器(6)顶部固接有磨抛板(5)，磨抛板(5)上具有微孔，微水雾穿过微孔与晶体工件(8)接触；

所述的夹具(22)位于配重环(9)的下方，夹具(22)顶部中心设有凹槽结构，所述的凹槽结构与自转轴(10)底端球头结构组成球铰式配合(21)。

2.根据权利要求1所述的一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置，其特征在于：所述的自转轴(10)与花键轴(11)二者轴线重合。

3.根据权利要求1所述的一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置，其特征在于：所述的花键轴(11)底端固接限位块(17)，防止花键套(18)脱落。

4.根据权利要求1所述的一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置，其特征在于：所述的公转圆盘(4)上沿圆周均布2-6个直线进给机构(12)。

5.根据权利要求1所述的一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置，其特征在于：所述的夹具(22)上方堆叠多个配重环(9)。

6.根据权利要求1所述的一种用于微水雾抛光的多工位自适应执行装置，其特征在于：所述的直线进给机构(12)包括丝杠(23)、滑台(24)和轴承座(25)；所述的轴承座(25)有两个，分别位于丝杠(23)的两端；所述的丝杠(23)穿过滑台(24)组成滑台(24)丝杠(23)移动副；当丝杠(23)转动时滑台(24)沿丝杠(23)进行直线进给运动。