[发明专利]一种双向对称TVS二极管及其制造方法在审
| 申请号： | 201910251215.3 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111755529A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 周伟伟;欧阳炜霞 | 申请（专利权）人： | 焕珏（上海）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L29/06;H01L21/329 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海）自由贸*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双向对称TVS二极管及其制造方法，利用低压化学气相淀积的方法减少了热过程，实现了横向双向TVS，性能稳定，双向的对称性一致；利用干法加湿法的刻蚀方法，既保证窗口内的硅不被过刻，也保证窗口具有良好的形貌，有利于金属覆盖，提高了器件的可靠性，表面介质层用低压化学气相淀积生产的TEOS二氧化硅代替热氧生产的二氧化硅，大大减少了工艺中的热过程，降低了生产成本，提高了器件的稳定性。本发明TVS的一端通过穿通区连接到芯片背面，节省了芯片的面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双向 对称 tvs 二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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